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邵阳德国普发pfeiffer vacuum涡轮分子泵HiPa
13:41:14 &&莱芜新闻网
邵阳德国普发pfeiffer vacuum涡轮分子泵HiPa
德国普发pfeiffer vacuum涡轮分子泵--复合轴承SplitFlow(TM) 50 &HiPace& 10 &HiPace& 30 &HiPace& 60 P &HiPace& 80 &HiPace& 300 &HiPace& 400 &HiPace& 700 &HiPace& 800 &HiPace& 1200 &HiPace& 1500 &HiPace& 1800 &HiPace& 2300
&&&&涡轮分子泵
涡轮分子泵——真空泵中的领导者
真空技术的应用，使大量高科技产品走入人们的日常生活。事实上，在研发和工业领域的大量应用都需要极低的绝对压力，即高真空环境。得名于涡轮机系列产品，涡轮分子泵代表着全球领先的技术标准。转速高达 90,000 rpm 的高速转子能产生应用所需的压力条件，从而产生在高真空和超高真空范围内的高达 10-11&mbar 的真空度。
完美的真空解决方案 满足最高要求
普发真空拥有抽速介于10到2,700 升/秒的完整涡轮分子泵产品系列。产品具有很高的性价比和灵活的安装方式。经过实践验证的轴承系统提供了更优化的可靠性。通常有两种类型的轴承可供选择——一种是由前级真空端的陶瓷球轴承与高真空端的永磁径向轴承组合而成的复合轴承系统，另一种是完全主动式的磁悬浮轴承系统，其转子悬浮空中，无任何接触或磨损。得益于精密的转子设计，使产品具有更出色的抽速，更好的前级泵兼容性和更大的气流量，对于小分子气体具有更高的压缩比。
普发真空涡轮分子泵代表着安全的性能
现代涡轮分子泵能获得超过 400 米/每秒的圆周速度。这将转化为相应的高转子动能，当转子和定子相触，动能将在瞬间传输到外壳和泵的底座上。因此，泵外壳的稳定性具有至关重要的作用，需经过理论和实际的双重检验。普发真空的涡轮分子泵已通过UL 61010和/或Semi S2认证。除机械安全性能外，该认证同时也包括了防火和转速过高的双重保护，这向认证是由普发真空与T?V Rheinland共同开创的。
我们关注客户利益的核心
在整个生产工艺过程中，真空技术往往是成败的关键因素。在各类生产应用中，因批量故障或生产中断而造成的费用损失甚至可以高达上百万元。因此采用性能稳定可靠的部件显得十分重要。如今，涡轮分子泵的工作时间已经能达到 100,000 小时。这意味着产品能无间断地运行长达11年的时间。在此期间，应尽可能地避免因保养或服务导致的运行中断。普发真空涡轮分子泵具备扩展的自诊断功能，能满足该项需求。通过分析真空泵的相关技术数据，给维修保养工作带来了极大的支持。因此，任何保养都可以提前进行预测，用户可以自主安排保养计划。此外，真空泵油和轴承都可以在现场直接进行更换，更大程度上保障了正常生产运行。涡轮分子泵的集成控制器减少了对繁琐、昂贵的布线需要。一流的驱动技术将能源消耗降低到最少，同时还带有多样化的接口。真空泵具有IP54防护等级设计，符合工业环境应用要求。紧凑型结构设计能满足更小的物理空间安装需求。为将成本最小化，普发真空提供多样化的控制器，供不同型号的泵使用。甚至泵体的重量也是重点考量的因素：抽速为 250 升/每秒的涡轮分子泵重量仅为 6 kg。普发真空涡轮分子泵的应用范围广阔，不仅包括分析仪器、真空工艺和半导体技术，还包括真空镀膜、研发和其他各类工业应用领域。
在很多产品制造和工艺研究领域中，真空技术发挥着决定性的作用。涡轮分子泵对于制造极纯工艺条件具有至关重要的作用。
应用范围覆盖多个领域：
分析仪器（质谱分析法、显微镜等）
半导体行业（电子组件、集成电路、太阳能电池等）
光学/玻璃行业（隔热保护、防反射、反射、滤光镜镀膜等）
真空镀膜技术*（表面保护、装饰土层、显示技术、屏幕等）
真空冶金（真空焊接、真空烧结、真空合金、真空炉等）
泄漏检测（真空系统、机车燃料箱、安全气囊、真空包装行业）
科研设施（核粒子物理学、核聚变研究、激光应用等）
灯具行业（灯具生产等）
HiPace代表着抽速范围从10-2050升/秒的全系列紧凑且性能卓越的 涡轮分子泵。其具有高性价比和安装角度的灵活性。经过实践证明 的轴承系统提供了卓越的可靠性。革命性的转子设计使其具有更出 色的抽速，更好的前级泵兼容性和更大的气流量，对于小分子气体 具有更高的压缩比。
什么是复合轴承？
复合轴承就是将前级真空端的陶瓷球轴承和高真空端的永磁径向轴承相结合的设计。
该轴承技术无需电磁铁，使用寿命长，只需每隔约4年维护保养一次，并且可以在30分钟内现场完成陶瓷球轴承和油棉的更换。
快速启动时间
HiPace的启动时间远快于其他同类产品。这使得其能更快的启动涡 轮分子泵。这会给您的生产带来无可估量的经济效益。此外，我们 提供扩展功能，可以为您实现远程数据的读取，比如泵的温度等 等。先进的自诊断系统使得泵的有效性和技术服务支持变得更有保 障。
基于HiPace精益求精的设计，我们的产品正引领着行业。以 HiPace外壳为例，其特殊材料使得泵体的重量轻到了极致，从而扩 大了其应用范围。而其转子创新的几何设计使得涡轮分子泵的运行 更安静，显著改善气体负荷，建立了分子泵转子的新标准。
应用范围广
HiPace Plus系列是为电子显微镜和高端质谱行业量身定做的产 品。HiPace C系列是为腐蚀性气体应用环境而设计的。此外我们还 有HiPace P系列，因其能抵抗工业粉尘和微小粒子而广泛应用于工 业领域。
SplitFlow(TM) 50
小型、高性能的 SplitFlow 涡轮泵基于在高真空法兰上具有最高 53 l/s 和在中间抽吸装置上具有 0.15 l/s(用于 N2）抽吸能力的 HiPace 技术。
紧凑结构形成的最低空间要求
对于所有气体的高抽吸能力和极高压缩
集成的驱动电子装置，防护类型 IP 54 适合于工业用途
准 S2 和 UL/CSA 认证
运行数据监控形成的最高运行安全性
SplitFlow(TM) 50，具有 TC 110，DN 63 ISO-K (PM&P04&340)
SplitFlow(TM) 50，具有 TC 110，DN 63 CF-F (PM&P04&342)
SplitFlow(TM) 50，具有 TC 110，DN 63 ISO-K
基于 HiPace 技术的小型、高性能的涡轮泵
在高真空法兰上具有最高 53 l/s 对于 N2&和在中间抽出装置上具有 0.15 l/s 抽吸能力
集成驱动电子装置 TC 110
用于在所有情况下的安装
理想适用于诸如泄漏查找和质谱分析等分析性应用
广泛的配件扩展使用范围
订单号: PM P04 340&
Ar 的压缩比
2.1 · 1010
Ar 的压缩比（中间抽气/预真空）
1.5 · 103
Ar 的抽速（中间抽气）
Ar 的最终转速时的气体流量
0.46 hPa l/s&|&0.34 Torr l/s&|&0.46 mbar l/s
H2&的压缩比
1.3 · 106
H2&的压缩比（中间抽气/预真空）
H2&的抽速（中间抽气）
H2&的最终转速时的气体流量
110 hPa l/s&|&82.5 Torr l/s&|&110 mbar l/s
He 的压缩比
1.8 · 106
He 的压缩比（中间抽气/预真空）
He 的抽速（中间抽气）
He 的最终转速时的气体流量
7.3 hPa l/s&|&5.47 Torr l/s&|&7.3 mbar l/s
N2&的压缩比
N2&的压缩比（中间抽气/预真空）
N2&的抽速（中间抽气）
N2&的最大预真空
N2&的最终转速时的气体流量
1.8 hPa l/s&|&1.35 Torr l/s&|&1.8 mbar l/s
允许冷却水的温度
5&–&25&摄氏度
冷却水耗量
冷却类型，可选项
冷却类型，标准
24 (± 5 %) V DC
RS-485, 远程
最大允许磁场
根据 PNEUROP 的最终压力
& 4 · 10-7&百帕
电子驱动单元
转速 ?± 2 %
49,000 rpm&|&49,000 min-1
连接法兰（中间抽气）
连接法兰（入口）
DN&63&ISO-K
连接法兰（出口）
HiPace& 10
具有 10 l/s 对于 N2&抽吸能力的小型坚固涡轮泵
最小结构形成的最低空间要求
特别抗振，适合移动式应用
集成的驱动电子装置，防护类型 IP54 适合于工业用途
准 S2 和 UL/CSA 认证
运行数据监控形成的最高运行安全性
HiPace& 10
最小结构形成的最低空间要求
特别抗振，适合移动式应用
集成的驱动电子装置，防护类型 IP54 适合于工业用途
准 S2 和 UL/CSA 认证
运行数据监控形成的最高运行安全性
连接法兰（入口）
电子驱动单元
内置式电源
HiPace& 10
带有 TC 110
RS-485, 远程
PM P03 960
HiPace& 10
带有 TC 110
RS-485, 远程
PM P03 961
HiPace& 10
带有 TC 110
RS-485, 远程
PM P03 963
HiPace& 10，具有 TC 110，DN 25
最小系列涡轮泵
具有 10 l/s 对于 N2&抽吸能力的紧凑和坚固涡轮泵
接头 DN 25
具有 24 V 供电电压的集成驱动电子装置
可便携使用
不要求其它冷却装置
朝向预真空接口的电子接口
订单号: PM P03 960&
Ar 的压缩比
2.5 · 108
Ar 的最终转速时的气体流量
0.37 hPa l/s&|&0.28 Torr l/s&|&0.37 mbar l/s
H2&的压缩比
H2&的最终转速时的气体流量
2.78 hPa l/s&|&2.08 Torr l/s&|&2.78 mbar l/s
He 的压缩比
He 的最终转速时的气体流量
0.48 hPa l/s&|&0.36 Torr l/s&|&0.48 mbar l/s
N2&的压缩比
N2&的最大预真空
N2&的最终转速时的气体流量
0.37 hPa l/s&|&0.28 Torr l/s&|&0.37 mbar l/s
冷却类型，标准
24 (± 5 %) V DC
RS-485, 远程
最大允许磁场
根据 PNEUROP 的最终压力
& 5 · 10-5&百帕
电子驱动单元
带有 TC 110
转速 ?± 2 %
90,000 rpm&|&90,000 min-1
转速可变化
50&–&100&%
连接法兰（入口）
连接法兰（出口）
DN&16&ISO-KF/G&1/8"
HiPace& 30
具有对于 N2&最高 32 l/s 抽吸能力的小型、高性能涡轮泵
结构极其紧凑，对空间要求极低
集成的驱动电子装置，防护类型 IP54 适合于工业用途
运行数据监控形成的最高运行安全性
HiPace& 30
集成的驱动电子装置，防护类型 IP54 适合于工业用途
连接法兰（入口）
电子驱动单元
内置式电源
HiPace& 30
DN&63&ISO-K
RS-485, 远程
PM P05 280
HiPace& 30
DN&63&CF-F
RS-485, 远程
PM P05 281
HiPace& 30
DN&40&ISO-KF
RS-485, 远程
PM P05 282
HiPace& 30，具有 TC 110，DN 63 ISO-K
具有最高 32 l/s 对于 N2&抽吸能力的小型、高性能涡轮分子泵
同等抽速等级中压缩比最高
易于集成在小型分析仪器和系统中
重量轻适合便携应用
维护保养间隔时间长
可任意角度安装
集成TC 110电子驱动单元
广泛的配件扩展使用范围
订单号: PM P05 280&
Ar 的压缩比
& 1 · 1011
Ar 的最终转速时的气体流量
0.22 hPa l/s&|&0.17 Torr l/s&|&0.22 mbar l/s
H2&的压缩比
H2&的最终转速时的气体流量
10 hPa l/s&|&7.5 Torr l/s&|&10 mbar l/s
He 的压缩比
He 的最终转速时的气体流量
1.84 hPa l/s&|&1.38 Torr l/s&|&1.84 mbar l/s
N2&的压缩比
& 1 · 1011
N2&的最大预真空
N2&的最终转速时的气体流量
0.66 hPa l/s&|&0.49 Torr l/s&|&0.66 mbar l/s
允许冷却水的温度
5&–&25&摄氏度
冷却水耗量
冷却类型，可选项
冷却类型，标准
24 (± 5 %) V DC
RS-485, 远程
最大允许磁场
根据 PNEUROP 的最终压力
& 1 · 10-7&百帕
电子驱动单元
转速 ?± 2 %
90,000 rpm&|&90,000 min-1
连接法兰（入口）
DN&63&ISO-K
连接法兰（出口）
DN&16&ISO-KF/G& 1/4 "
HiPace& 60 P
具有最高 64 l/s 对于 N2&抽吸能力的小型、高性能、无 Holweck 级别的涡轮分子泵
最小结构形成的最低空间要求
集成的驱动电子装置，防护类型 IP54 适合于工业用途
HiPace& 60 P
集成的驱动电子装置，防护类型 IP 54 适合于工业用途
连接法兰（入口）
电子驱动单元
内置式电源
HiPace& 60 P
DN&63&ISO-K
带有 TC 110
RS-485, 远程
PM P04 000
HiPace& 60 P
DN&63&ISO-K
带有 TC 110 RS
RS-485, 远程
PM P04 693
HiPace& 60 P，具有 TC 110，DN 63 ISO-K
具有最高 64 l/s 对于 N2&抽吸能力的小型、高性能、无 Holweck 级别的涡轮分子泵
集成驱动电子装置 TC 110
用于在所有情况下的安装
简单、可靠的系统集成
工艺过程适宜，即耐灰尘
广泛的配件扩展使用范围
订单号: PM P04 000&
Ar 的压缩比
Ar 的最终转速时的气体流量
0.83 hPa l/s&|&0.62 Torr l/s&|&0.83 mbar l/s
H2&的压缩比
H2&的最终转速时的气体流量
55 hPa l/s&|&41.25 Torr l/s&|&55 mbar l/s
He 的压缩比
3.5 · 103
He 的最终转速时的气体流量
55 hPa l/s&|&41.25 Torr l/s&|&55 mbar l/s
N2&的压缩比
N2&的最大预真空
N2&的最终转速时的气体流量
9.2 hPa l/s&|&6.9 Torr l/s&|&9.2 mbar l/s
允许冷却水的温度
5&–&25&摄氏度
冷却水耗量
冷却类型，可选项
冷却类型，标准
24 (± 5 %) V DC
RS-485, 远程
最大允许磁场
根据 PNEUROP 的最终压力
& 1 · 10-6&百帕
电子驱动单元
带有 TC 110
转速 ?± 2 %
90,000 rpm&|&90,000 min-1
连接法兰（入口）
DN&63&ISO-K
连接法兰（出口）
DN&16&ISO-KF/G& 1/4 "
HiPace& 80
具有 67 l/s 对于 N2&抽吸能力的紧凑、高性能涡轮泵
紧凑结构形成的最低空间要求
对于所有气体的高抽吸能力和极高压缩
集成的驱动电子装置，防护类型 IP54 适合于工业用途
准 S2 和 UL/CSA 认证
适合所有标准应用
涡轮分子泵入门套件
易于安装、快速应用和运行
最佳匹配的组件，真正的“即插即用”
Starter-Kit HiPace 80, ISO-K
Starter-Kit HiPace 80, CF-F
Starter-Kit HiPace 80, ISO-KF
HiPace& 80
紧凑结构形成的最低空间要求
对于所有气体的高抽吸能力和极高压缩
集成的驱动电子装置，防护类型 IP54 适合于工业用途
准 S2 和 UL/CSA 认证
运行数据监控形成的最高运行安全性
连接法兰（入口）
电子驱动单元
内置式电源
HiPace& 80
DN&63&ISO-K
带有 TC 110
RS-485, 远程
PM P03 940
HiPace& 80
DN&63&CF-F
带有 TC 110
RS-485, 远程
PM P03 941
HiPace& 80
DN&40&ISO-KF
带有 TC 110
RS-485, 远程
PM P03 942
HiPace& 80
DN&63&ISO-K
适用于 TCP 350
RS-485, 远程
PM P03 943
HiPace& 80
DN&63&CF-F
适用于 TCP 350
RS-485, 远程
PM P03 944
HiPace& 80
DN&40&ISO-KF
适用于 TCP 350
RS-485, 远程
PM P03 945
HiPace& 80
DN&63&ISO-K
带有 TC 110
RS-485, 远程, Profibus
PM P04 260
HiPace& 80
DN&63&CF-F
带有 TC 110
RS-485, 远程, Profibus
PM P04 261
HiPace& 80
DN&40&ISO-KF
带有 TC 110
RS-485, 远程, Profibus
PM P04 262
HiPace& 80
DN&63&ISO-K
带有 TC 110
RS-485, 远程
PM P04 263
HiPace& 80
DN&63&CF-F
带有 TC 110
RS-485, 远程
PM P04 264
HiPace& 80
DN&40&ISO-KF
带有 TC 110
RS-485, 远程
PM P04 265
HiPace& 80
DN&63&ISO-K
带有 TC 110
RS-485, 远程, Profibus
PM P04 266
HiPace& 80
DN&63&CF-F
带有 TC 110
RS-485, 远程, Profibus
PM P04 267
HiPace& 80
DN&40&ISO-KF
带有 TC 110
RS-485, 远程, Profibus
PM P04 268
HiPace& 80
DN&63&ISO-K
带有 TC 110
RS-485, 远程, E74
PM P04 390
HiPace& 80
DN&63&CF-F
带有 TC 110
RS-485, 远程, E74
PM P04 391
HiPace& 80
DN&40&ISO-KF
带有 TC 110
RS-485, 远程, E74
PM P04 392
HiPace& 80
DN&63&ISO-K
带有 TC 110
RS-485, 远程, E74
PM P04 393
HiPace& 80
DN&63&CF-F
带有 TC 110
RS-485, 远程, E74
PM P04 394
HiPace& 80
DN&40&ISO-KF
带有 TC 110
RS-485, 远程, E74
PM P04 395
HiPace& 300
具有 260 l/s 对于 N2&抽吸能力的紧凑、高性能涡轮泵
紧凑结构的最高可靠性
运行数据监控形成的最高运行安全性
配有不同驱动电子系统
防护类型 IP54 适合于工业用途
准 S2 和 UL/CSA 认证
涡轮分子泵入门套件
易于安装、快速应用和运行
最佳匹配的组件，真正的“即插即用”
Starter-Kit HiPace 300, ISO-K
Starter-Kit HiPace 300, CF-F
Starter-Kit HiPace 300, ISO-F
对于所有气体的高抽吸能力和极高压缩
适合所有标准应用
连接法兰（入口）
电子驱动单元
内置式电源
HiPace& 300
DN&100&ISO-K
带有TC 400
RS-485, 远程
PM P03 900
HiPace& 300
DN 100 CF-F
带有TC 400
RS-485, 远程
PM P03 901
HiPace& 300
DN 100 ISO-F
带有TC 400
RS-485, 远程
PM P03 902
HiPace& 300
DN&100&ISO-K
带有 TC 110
RS-485, 远程
PM P03 990
HiPace& 300
DN 100 CF-F
带有 TC 110
RS-485, 远程
PM P03 991
HiPace& 300
DN 100 ISO-F
带有 TC 110
RS-485, 远程
PM P03 992
HiPace& 300
DN&100&ISO-K
适用于 TCP 350
RS-485, 远程
PM P03 993
HiPace& 300
DN 100 CF-F
适用于 TCP 350
RS-485, 远程
PM P03 994
HiPace& 300
DN 100 ISO-F
适用于 TCP 350
RS-485, 远程
PM P03 995
HiPace& 300
DN&100&ISO-K
带有TC 400
RS-485, 远程, Profibus
PM P04 230
HiPace& 300
DN 100 CF-F
带有TC 400
RS-485, 远程, Profibus
PM P04 231
HiPace& 300
DN 100 ISO-F
带有TC 400
RS-485, 远程, Profibus
PM P04 232
HiPace& 300
DN&100&ISO-K
带有 TC 110
RS-485, 远程, Profibus
PM P04 236
HiPace& 300
DN 100 CF-F
带有 TC 110
RS-485, 远程, Profibus
PM P04 237
HiPace& 300
DN 100 ISO-F
带有 TC 110
RS-485, 远程, Profibus
PM P04 238
HiPace& 300
DN&100&ISO-K
带有 TC 110
RS-485, 远程
PM P04 330
HiPace& 300
DN 100 CF-F
带有 TC 110
RS-485, 远程
PM P04 331
HiPace& 300
DN 100 ISO-F
带有 TC 110
RS-485, 远程
PM P04 332
与带涂层转子和抗侵蚀性气体材料共用时，尤其适合侵蚀性气体
适用于侵蚀性气体环境应用
连接法兰（入口）
电子驱动单元
内置式电源
HiPace& 300 C
DN&100&ISO-K
带有TC 400
RS-485, 远程
PM P03 906
HiPace& 300 C
DN 100 ISO-F
带有TC 400
RS-485, 远程
PM P03 907
HiPace& 300 C
DN 100 CF-F
带有TC 400
RS-485, 远程
PM P03 996
压缩能力极强，极适用于轻气体
适用于生成超高真空
连接法兰（入口）
电子驱动单元
内置式电源
HiPace& 300 H
DN&100&ISO-K
带有 TC 110
RS-485, 远程
PM P05 540
HiPace& 300 H
DN 100 CF-F
带有 TC 110
RS-485, 远程
PM P05 541
HiPace& 300 H
DN 100 ISO-F
带有 TC 110
RS-485, 远程
PM P05 542
HiPace& 300 H
DN&100&ISO-K
适用于 TCP 350
RS-485, 远程
PM P05 543
HiPace& 300 H
DN 100 CF-F
适用于 TCP 350
RS-485, 远程
PM P05 544
HiPace& 300 H
DN 100 ISO-F
适用于 TCP 350
RS-485, 远程
PM P05 545
工艺过程适宜，耐灰尘
理想适用于涂层及半导体工艺以及诸如电子束焊接装置等易受灰尘影响的工业应用
连接法兰（入口）
电子驱动单元
内置式电源
HiPace& 300 P
DN&100&ISO-K
带有TC 400
RS-485, 远程
PM P04 710
HiPace& 300 P
DN 100 CF-F
带有TC 400
RS-485, 远程
PM P04 711
HiPace& 300 P
DN 100 ISO-F
带有TC 400
RS-485, 远程
PM P04 712
杂散磁场低
适用于高要求分析设备、例如电子显微镜
连接法兰（入口）
电子驱动单元
内置式电源
HiPace& 300 Plus
DN&100&ISO-K
带有 TC 110
RS-485, 远程
PM P03 980
HiPace& 300 Plus
DN 100 CF-F
带有 TC 110
RS-485, 远程
PM P03 981
HiPace& 300 Plus
DN 100 ISO-F
带有 TC 110
RS-485, 远程
PM P03 982
HiPace& 300，具有 TC 400，DN 100 ISO-K
具有最高 260 l/s 对于 N2&抽吸能力的坚固、高性能涡轮泵
集成型驱动电子设备 TC 400
理想用于分析和工业应用
用于在所有情况下的安装
带有集成型水冷系统以保证最大气体流量
通过使用最多 4 个配件实现使用多样性
理想适用于快速循环
广泛的配件扩展使用范围
订单号: PM P03 900&
Ar 的压缩比
& 1 · 1011
Ar 的最终转速时的气体流量
7 hPa l/s&|&5.25 Torr l/s&|&7 mbar l/s
H2&的压缩比
H2&的最终转速时的气体流量
& 14 hPa l/s&|&& 10.5 Torr l/s&|&& 14 mbar l/s
He 的压缩比
& 1 · 108
He 的最终转速时的气体流量
20 hPa l/s&|&15 Torr l/s&|&20 mbar l/s
N2&的压缩比
& 1 · 1011
N2&的最大预真空
N2&的最终转速时的气体流量
14 hPa l/s&|&10.5 Torr l/s&|&14 mbar l/s
允许冷却水的温度
15&–&35&摄氏度
冷却水耗量
冷却类型，可选项
冷却类型，标准
24 (± 5 %) V DC
RS-485, 远程
最大允许磁场
根据 PNEUROP 的最终压力
& 1 · 10-7&百帕
电子驱动单元
带有TC 400
转速 ?± 2 %
60,000 rpm&|&60,000 min-1
转速可变化
35 - 100&%
连接法兰（入口）
DN&100&ISO-K
连接法兰（出口）
DN&16&ISO-KF/G& 1/4 "
HiPace& 400
具有 355 l/s 对于 N2&抽吸能力的紧凑、高性能涡轮泵，DN 100 的小型法兰接头
最少空间需求和最高可靠性
高气通量和高抽吸能力
防护类型 IP54 适合于工业用途
准 S2 和 UL/CSA 认证
运行数据监控形成的最高运行安全性
涡轮分子泵入门套件
易于安装、快速应用和运行
最佳匹配的组件，真正的“即插即用”
Starter-Kit HiPace 400, ISO-K
Starter-Kit HiPace 400, CF-F
Starter-Kit HiPace 400, ISO-F
对于所有气体的高抽吸能力和极高压缩
适合所有标准应用
连接法兰（入口）
电子驱动单元
内置式电源
HiPace& 400
DN 100 ISO-F
带有TC 400
RS-485, 远程, Profibus
PM P04 245
HiPace& 400
DN 100 CF-F
带有TC 400
RS-485, 远程, Profibus
PM P04 244
HiPace& 400
DN&100&ISO-K
带有TC 400
RS-485, 远程, Profibus
PM P04 243
HiPace& 400
DN 100 ISO-F
适用于 TCP 350
RS-485, 远程
PM P04 028
HiPace& 400
DN 100 CF-F
适用于 TCP 350
RS-485, 远程
PM P04 027
HiPace& 400
DN&100&ISO-K
适用于 TCP 350
RS-485, 远程
PM P04 026
HiPace& 400
DN 100 ISO-F
带有TC 400
RS-485, 远程
PM P04 025
HiPace& 400
DN 100 CF-F
带有TC 400
RS-485, 远程
PM P04 024
HiPace& 400
DN&100&ISO-K
带有TC 400
RS-485, 远程
PM P04 023
DN&100&ISO-K
RS-485, 远程
PM P04 376
DN 100 CF-F
RS-485, 远程
PM P04 377
DN 100 ISO-F
RS-485, 远程
PM P04 378
工艺过程适宜，耐灰尘
理想适用于涂层及半导体工艺以及诸如电子束焊接装置等易受灰尘影响的工业应用
连接法兰（入口）
电子驱动单元
内置式电源
HiPace& 400 P
DN 100 ISO-F
带有TC 400
RS-485, 远程
PM P04 742
HiPace& 400 P
DN 100 CF-F
带有TC 400
RS-485, 远程
PM P04 741
HiPace& 400 P
DN&100&ISO-K
带有TC 400
RS-485, 远程
PM P04 740
HiPace& 400，具有 TC 400，Profibus，DN 100 ISO-F
具有最高 355 l/s 对于 N2&抽吸能力的紧凑、高性能涡轮泵
集成的带 Profibus 的驱动电子装置 TC 400
理想用于分析和工业应用
用于在所有情况下的安装
带有集成型水冷系统以保证最大气体流量
通过使用最多 4 个配件实现使用多样性
通过 M12 插接头的 Profibus 连接
广泛的配件扩展使用范围
腐蚀性气体机型请咨询
订单号: PM P04 245&
Ar 的压缩比
& 1 · 1011
Ar 的最终转速时的气体流量
3.5 hPa l/s&|&2.62 Torr l/s&|&3.5 mbar l/s
H2&的压缩比
H2&的最终转速时的气体流量
& 14 hPa l/s&|&& 10.5 Torr l/s&|&& 14 mbar l/s
He 的压缩比
He 的最终转速时的气体流量
10 hPa l/s&|&7.5 Torr l/s&|&10 mbar l/s
N2&的压缩比
& 1 · 1011
N2&的最大预真空
N2&的最终转速时的气体流量
6.5 hPa l/s&|&4.88 Torr l/s&|&6.5 mbar l/s
允许冷却水的温度
15&–&35&摄氏度
冷却水耗量
冷却类型，可选项
冷却类型，标准
48 (± 5 %) V DC
RS-485, 远程, Profibus
接口，扩展
最大允许磁场
根据 PNEUROP 的最终压力
& 1 · 10-7&百帕
电子驱动单元
带有TC 400
转速 ?± 2 %
49,200 rpm&|&49,200 min-1
连接法兰（入口）
DN 100 ISO-F
连接法兰（出口）
DN&25&ISO-KF/G& 1/4 "
HiPace& 700
具有 685 l/s 对于 N2&抽吸能力的紧凑结构的最高真空功率
最少空间需求和最高可靠性
高气通量和高抽吸能力
防护类型 IP54 适合于工业用途
准 S2 和 UL/CSA 认证
运行数据监控形成的最高运行安全性
涡轮分子泵入门套件
易于安装、快速应用和运行
最佳匹配的组件，真正的“即插即用”
Starter-Kit HiPace 700, ISO-K
Starter-Kit HiPace 700, CF-F
Starter-Kit HiPace 700, ISO-F
对于所有气体的高抽吸能力和极高压缩
适合所有标准应用
连接法兰（入口）
电子驱动单元
内置式电源
HiPace& 700
DN 160 ISO-F
带有TC 400
RS-485, 远程, Profibus
PM P04 255
HiPace& 700
DN 160 CF-F
带有TC 400
RS-485, 远程, Profibus
PM P04 254
HiPace& 700
DN&160&ISO-K
带有TC 400
RS-485, 远程, Profibus
PM P04 253
HiPace& 700
DN 160 ISO-F
适用于 TCP 350
RS-485, 远程
PM P04 082
HiPace& 700
DN 160 CF-F
适用于 TCP 350
RS-485, 远程
PM P04 081
HiPace& 700
DN&160&ISO-K
适用于 TCP 350
RS-485, 远程
PM P04 080
HiPace& 700
DN 160 ISO-F
带有TC 400
RS-485, 远程
PM P03 935
HiPace& 700
DN 160 CF-F
带有TC 400
RS-485, 远程
PM P03 934
HiPace& 700
DN&160&ISO-K
带有TC 400
RS-485, 远程
PM P03 933
DN&160&ISO-K
RS-485, 远程
PM P04 596
DN 160 CF-F
RS-485, 远程
PM P04 597
DN 160 ISO-F
RS-485, 远程
PM P04 598
工艺过程适宜，耐灰尘
理想适用于涂层及半导体工艺以及诸如电子束焊接装置等易受灰尘影响的工业应用
连接法兰（入口）
电子驱动单元
内置式电源
HiPace& 700 P
DN 160 ISO-F
带有TC 400
RS-485, 远程
PM P04 680
HiPace& 700 P
DN 160 CF-F
带有TC 400
RS-485, 远程
PM P04 681
HiPace& 700 P
DN&160&ISO-K
带有TC 400
RS-485, 远程
PM P04 275
杂散磁场低
适用于高要求分析设备、例如电子显微镜
连接法兰（入口）
电子驱动单元
内置式电源
HiPace& 700 Plus
DN&160&ISO-K
带有TC 400
RS-485, 远程
PM P04 440
HiPace& 700 Plus
DN 160 CF-F
带有TC 400
RS-485, 远程
PM P04 441
HiPace& 700 Plus
DN 160 ISO-F
带有TC 400
RS-485, 远程
PM P04 442
HiPace& 700，具有 TC 400，Profibus，DN 160 ISO-F
具有最高 685 l/s 对于 N2&抽吸能力的紧凑、高性能涡轮泵
最少耗能下最大真空性能
集成的带 Profibus 的驱动电子装置 TC 400
用于在所有情况下的安装
带有集成型水冷系统以保证最大气体流量
通过 M12 插接头的 Profibus 连接
广泛的配件扩展使用范围
腐蚀性气体机型请咨询
订单号: PM P04 255&
Ar 的压缩比
& 1 · 1011
Ar 的最终转速时的气体流量
3.5 hPa l/s&|&2.62 Torr l/s&|&3.5 mbar l/s
H2&的压缩比
H2&的最终转速时的气体流量
& 14 hPa l/s&|&& 10.5 Torr l/s&|&& 14 mbar l/s
He 的压缩比
He 的最终转速时的气体流量
10 hPa l/s&|&7.5 Torr l/s&|&10 mbar l/s
N2&的压缩比
& 1 · 1011
N2&的最大预真空
N2&的最终转速时的气体流量
6.5 hPa l/s&|&4.88 Torr l/s&|&6.5 mbar l/s
允许冷却水的温度
15&–&35&摄氏度
冷却水耗量
冷却类型，可选项
冷却类型，标准
48 (± 5 %) V DC
RS-485, 远程, Profibus
接口，扩展
最大允许磁场
根据 PNEUROP 的最终压力
& 1 · 10-7&百帕
电子驱动单元
带有TC 400
转速 ?± 2 %
49,200 rpm&|&49,200 min-1
连接法兰（入口）
DN 160 ISO-F
连接法兰（出口）
DN&25&ISO-KF/G& 1/4 "
HiPace& 800
具有 790 l/s 对于 N2&抽吸能力的紧凑结构的最高真空功率
适用于轻气体和重气体的高抽吸能力
高工艺适用性，防止进入颗粒
对于重气体同样拥有高气体通过量
准 S2 和 UL/CSA 认证
运行数据监控形成的最高运行安全性
对于所有气体的高抽吸能力和极高压缩
适合所有标准应用
连接法兰（入口）
电子驱动单元
内置式电源
HiPace& 800
DN 200 ISO-K
带有TC 400
RS-485, 远程
PM P04 300
HiPace& 800
DN 200 CF-F
带有TC 400
RS-485, 远程
PM P04 301
HiPace& 800
DN 200 ISO-F
带有TC 400
RS-485, 远程
PM P04 302
HiPace& 800
DN 200 ISO-F
带有TC 400
RS-485, 远程
PM P04 622
HiPace& 800
DN 200 ISO-K
RS-485, 远程
PM P04 670
HiPace& 800
DN 200 CF-F
RS-485, 远程
PM P04 671
HiPace& 800
DN 200 ISO-F
RS-485, 远程
PM P04 672
DN 200 ISO-K
RS-485, 远程
PM P04 677
DN 200 CF-F
RS-485, 远程
PM P04 678
DN 200 ISO-F
RS-485, 远程
PM P04 679
工艺过程适宜，耐灰尘
理想适用于涂层及半导体工艺以及诸如电子束焊接装置等易受灰尘影响的工业应用
连接法兰（入口）
电子驱动单元
内置式电源
HiPace& 800 P
DN 200 ISO-F
带有TC 400
RS-485, 远程
PM P04 276
HiPace& 800 P
DN 200 ISO-K
带有TC 400
RS-485, 远程
PM P04 790
HiPace& 800 P
DN 200 CF-F
带有TC 400
RS-485, 远程
PM P04 791
杂散磁场低
适用于高要求分析设备、例如电子显微镜
连接法兰（入口）
电子驱动单元
内置式电源
HiPace& 800，具有 TC 400，DN 200 ISO-K
稳固且性能强大的涡轮泵，具备用于 N2直至的 790 l/s 的吸气能力
最少耗能下最大真空性能
集成型驱动电子设备 TC 400
用于在所有情况下的安装
集成型高效冷却
订单号: PM P04 300&
Ar 的压缩比
& 1 · 1011
Ar 的最终转速时的气体流量
3.5 hPa l/s&|&2.62 Torr l/s&|&3.5 mbar l/s
H2&的压缩比
H2&的最终转速时的气体流量
& 14 hPa l/s&|&& 10.5 Torr l/s&|&& 14 mbar l/s
He 的压缩比
He 的最终转速时的气体流量
20 hPa l/s&|&15 Torr l/s&|&20 mbar l/s
N2&的压缩比
& 1 · 1011
N2&的最大预真空
N2&的最终转速时的气体流量
6.5 hPa l/s&|&4.88 Torr l/s&|&6.5 mbar l/s
允许冷却水的温度
15&–&35&摄氏度
冷却水耗量
冷却类型，可选项
冷却类型，标准
48 (± 5 %) V DC
RS-485, 远程
最大允许磁场
根据 PNEUROP 的最终压力
& 1 · 10-7&百帕
电子驱动单元
带有TC 400
转速 ?± 2 %
49,200 rpm&|&49,200 min-1
连接法兰（入口）
DN 200 ISO-K
连接法兰（出口）
DN&25&ISO-KF/G& 1/4 "
HiPace& 1200
具有最高 1.300 l/s 抽吸能力的高性能涡轮泵
适用于轻气体和重气体的高抽吸能力
高工艺适用性，防止进入颗粒
对于重气体同样拥有高气体通过量
准 S2 和 UL/CSA 认证
运行数据监控形成的最高运行安全性
高工艺适用性，防止进入颗粒
连接法兰（入口）
电子驱动单元
内置式电源
HiPace& 1200
DN 200 ISO-K
带有 TC 1200
RS-485, 远程
PM P03 910
HiPace& 1200
DN 200 ISO-F
带有 TC 1200
RS-485, 远程
PM P03 911
HiPace& 1200
DN 200 CF-F
带有 TC 1200
RS-485, 远程
PM P03 912
HiPace& 1200 U
DN 200 ISO-K
带有 TC 1200
RS-485, 远程
PM P03 913
HiPace& 1200 U
DN 200 ISO-F
带有 TC 1200
RS-485, 远程
PM P03 914
HiPace& 1200 U
DN 200 CF-F
带有 TC 1200
RS-485, 远程
PM P03 915
HiPace& 1200
DN 200 ISO-K
带有 TC 1200
RS-485, 远程, Profibus
PM P04 110
HiPace& 1200
DN 200 ISO-F
带有 TC 1200
RS-485, 远程, Profibus
PM P04 111
HiPace& 1200
DN 200 CF-F
带有 TC 1200
RS-485, 远程, Profibus
PM P04 112
HiPace& 1200 U
DN 200 ISO-K
带有 TC 1200
RS-485, 远程, Profibus
PM P04 113
HiPace& 1200 U
DN 200 ISO-F
带有 TC 1200
RS-485, 远程, Profibus
PM P04 114
HiPace& 1200 U
DN 200 CF-F
带有 TC 1200
RS-485, 远程, Profibus
PM P04 115
HiPace&&1200
DN 200 ISO-K
PM P05 210
HiPace&&1200
DN 200 ISO-F
PM P05 211
HiPace&&1200
DN 200 CF-F
PM P05 212
与带涂层转子和抗侵蚀性气体材料共用时，尤其适合侵蚀性气体
适用于侵蚀性气体环境应用
连接法兰（入口）
电子驱动单元
内置式电源
HiPace& 1200 C
DN 200 ISO-K
带有 TC 1200
RS-485, 远程
PM P03 916
HiPace& 1200 C
DN 200 ISO-F
带有 TC 1200
RS-485, 远程
PM P03 917
HiPace& 1200 U C
DN 200 ISO-K
带有 TC 1200
RS-485, 远程
PM P03 918
HiPace& 1200 U C
DN 200 ISO-F
带有 TC 1200
RS-485, 远程
PM P03 919
HiPace& 1200 C
DN 200 ISO-K
带有 TC 1200
RS-485, 远程, Profibus
PM P04 116
HiPace& 1200 C
DN 200 ISO-F
带有 TC 1200
RS-485, 远程, Profibus
PM P04 117
HiPace& 1200 U C
DN 200 ISO-K
带有 TC 1200
RS-485, 远程, Profibus
PM P04 118
HiPace& 1200 U C
DN 200 ISO-F
带有 TC 1200
RS-485, 远程, Profibus
PM P04 119
HiPace& 1200 C
DN 200 CF-F
带有 TC 1200
RS-485, 远程
PM P04 190
HiPace& 1200 U C
DN 200 CF-F
带有 TC 1200
RS-485, 远程
PM P04 191
HiPace& 1200 C
DN 200 CF-F
带有 TC 1200
RS-485, 远程, Profibus
PM P04 196
HiPace& 1200 U C
DN 200 CF-F
带有 TC 1200
RS-485, 远程, Profibus
PM P04 197
具有最高 1250 l/s 对于 N2&抽吸能力的高性能涡轮泵
法兰 DN 200 ISO-K
带电源件的集成驱动电子装置 TC 1200
冷却类型：水冷装置
带有电动气体密封阀 24 V DC的集成型气体密封系统
保护类型：IP54
接口：RS-485，远程遥控（Profibus/DeviceNet 备询）
广泛的配件扩展使用范围
订单号: PM P03 910&
Ar 的压缩比
& 1 · 108
Ar 的最终转速时的气体流量
11 hPa l/s&|&8.25 Torr l/s&|&11 mbar l/s
H2&的压缩比
H2&的最终转速时的气体流量
& 30 hPa l/s&|&& 22.5 Torr l/s&|&& 30 mbar l/s
He 的压缩比
He 的最终转速时的气体流量
& 30 hPa l/s&|&& 22.5 Torr l/s&|&& 30 mbar l/s
N2&的压缩比
& 1 · 108
N2&的最大预真空
N2&的最终转速时的气体流量
20 hPa l/s&|&15 Torr l/s&|&20 mbar l/s
允许冷却水的温度
15&–&35&摄氏度
内置式电源
冷却水耗量
冷却类型，标准
标准 (0°-90°)
100-120/200-240 V AC, 50/60 Hz
RS-485, 远程
最大允许磁场
根据 PNEUROP 的最终压力
& 1 · 10-7&百帕
电子驱动单元
带有 TC 1200
转速 ?± 2 %
37,800 rpm&|&37,800 min-1
转速可变化
50 - 100&%
连接法兰（入口）
DN 200 ISO-K
连接法兰（出口）
DN&40&ISO-KF
HiPace& 1500
具有最高 1450 l/s 抽吸能力的高性能涡轮泵
适用于轻气体和重气体的高抽吸能力
高工艺适用性，防止进入颗粒
对于重气体同样拥有高气体通过量
准 S2 和 UL/CSA 认证
运行数据监控形成的最高运行安全性
高工艺适用性，防止进入颗粒
连接法兰（入口）
电子驱动单元
内置式电源
HiPace& 1500
DN&250&ISO-K
带有 TC 1200
RS-485, 远程
PM P04 060
HiPace& 1500
DN&250&ISO-F
带有 TC 1200
RS-485, 远程
PM P04 061
HiPace& 1500
DN&250&CF-F
带有 TC 1200
RS-485, 远程
PM P04 062
HiPace& 1500 U
DN&250&ISO-K
带有 TC 1200
RS-485, 远程
PM P04 063
HiPace& 1500 U
DN&250&ISO-F
带有 TC 1200
RS-485, 远程
PM P04 064
HiPace& 1500 U
DN&250&CF-F
带有 TC 1200
RS-485, 远程
PM P04 065
HiPace& 1500
DN&250&ISO-K
带有 TC 1200
RS-485, 远程
PM P04 120
HiPace& 1500
DN&250&ISO-F
带有 TC 1200
RS-485, 远程
PM P04 121
HiPace& 1500
DN&250&CF-F
带有 TC 1200
RS-485, 远程
PM P04 122
HiPace& 1500 U
DN&250&ISO-K
带有 TC 1200
RS-485, 远程
PM P04 123
HiPace& 1500 U
DN&250&ISO-F
带有 TC 1200
RS-485, 远程
PM P04 124
HiPace& 1500 U
DN&250&CF-F
带有 TC 1200
RS-485, 远程
PM P04 125
HiPace&&1200
DN&250&ISO-K
PM P05 215
HiPace&&1500
DN&250&ISO-F
PM P05 216
HiPace&&1500
DN&250&CF-F
PM P05 217
与带涂层转子和抗侵蚀性气体材料共用时，尤其适合侵蚀性气体
适用于侵蚀性气体环境应用
连接法兰（入口）
电子驱动单元
内置式电源
HiPace& 1500 C
DN&250&ISO-K
带有 TC 1200
RS-485, 远程
PM P04 066
HiPace& 1500 C
DN&250&ISO-F
带有 TC 1200
RS-485, 远程
PM P04 067
HiPace& 1500 U C
DN&250&ISO-K
带有 TC 1200
RS-485, 远程
PM P04 068
HiPace& 1500 U C
DN&250&ISO-F
带有 TC 1200
RS-485, 远程
PM P04 069
HiPace& 1500 C
DN&250&ISO-K
带有 TC 1200
RS-485, 远程
PM P04 126
HiPace& 1500 C
DN&250&ISO-F
带有 TC 1200
RS-485, 远程
PM P04 127
HiPace& 1500 U C
DN&250&ISO-K
带有 TC 1200
RS-485, 远程
PM P04 128
HiPace& 1500 U C
DN&250&ISO-F
带有 TC 1200
RS-485, 远程
PM P04 129
HiPace& 1500 C
DN&250&CF-F
带有 TC 1200
RS-485, 远程
PM P04 192
HiPace& 1500 U C
DN&250&CF-F
带有 TC 1200
RS-485, 远程
PM P04 193
HiPace& 1500 C
DN&250&CF-F
带有 TC 1200
RS-485, 远程
PM P04 198
HiPace& 1500 U C
DN&250&CF-F
带有 TC 1200
RS-485, 远程
PM P04 199
性能强大的涡轮泵，具备用于 N2直至的 1450 l/s 的吸气能力
法兰 DN 250 ISO-K
带电源件的集成驱动电子装置 TC 1200
带有电动气体密封阀 24 V DC的集成型气体密封系统
冷却类型：水冷装置
保护类型：IP54
接口 RS-485，远程（Profibus/DeviceNet 请咨询）
广泛的配件扩展使用范围
订单号: PM P04 060&
Ar 的压缩比
& 1 · 108
Ar 的最终转速时的气体流量
11 hPa l/s&|&8.25 Torr l/s&|&11 mbar l/s
H2&的压缩比
H2&的最终转速时的气体流量
& 30 hPa l/s&|&& 22.5 Torr l/s&|&& 30 mbar l/s
He 的压缩比
He 的最终转速时的气体流量
& 30 hPa l/s&|&& 22.5 Torr l/s&|&& 30 mbar l/s
N2&的压缩比
& 1 · 108
N2&的最大预真空
N2&的最终转速时的气体流量
20 hPa l/s&|&15 Torr l/s&|&20 mbar l/s
允许冷却水的温度
15&–&35&摄氏度
内置式电源
冷却水耗量
冷却类型，标准
标准 (0°-90°)
100-120/200-240 V AC，50/60 Hz
RS-485, 远程
最大允许磁场
根据 PNEUROP 的最终压力
& 1 · 10-7&百帕
电子驱动单元
带有 TC 1200
转速 ?± 2 %
37,800 rpm&|&37,800 min-1
连接法兰（入口）
DN&250&ISO-K
连接法兰（出口）
DN&40&ISO-KF
HiPace& 1800
具有最高 1700 l/s 抽吸能力的高性能涡轮泵
适用于轻气体和重气体的高抽吸能力
高工艺适用性，防止进入颗粒
对于重气体同样拥有高气体通过量
准 S2 和 UL/CSA 认证
运行数据监控形成的最高运行安全性
高工艺适用性，防止进入颗粒
连接法兰（入口）
电子驱动单元
内置式电源
HiPace& 1800
DN 200 ISO-K
带有 TC 1200
RS-485, 远程
PM P04 070
HiPace& 1800
DN 200 ISO-F
带有 TC 1200
RS-485, 远程
PM P04 071
HiPace& 1800 U
DN 200 ISO-K
带有 TC 1200
RS-485, 远程
PM P04 073
HiPace& 1800 U
DN 200 ISO-F
带有 TC 1200
RS-485, 远程
PM P04 074
HiPace& 1800
DN 200 ISO-K
带有 TC 1200
RS-485, 远程
PM P04 130
HiPace& 1800
DN 200 ISO-F
带有 TC 1200
RS-485, 远程
PM P04 131
HiPace& 1800 U
DN 200 ISO-K
带有 TC 1200
RS-485, 远程
PM P04 133
HiPace& 1800 U
DN 200 ISO-F
带有 TC 1200
RS-485, 远程
PM P04 134
HiPace&&1800
DN 200 ISO-K
PM P05 205
HiPace&&1800
DN 200 ISO-F
PM P05 206
HiPace&&1800
DN 200 ISO-K
PM P06 200
HiPace&&1800
DN 200 ISO-F
PM P06 201
HiPace&&1800
DN 200 ISO-K
PM P06 203
HiPace&&1800
DN 200 ISO-F
PM P06 204
HiPace&&1800 U
DN 200 ISO-K
PM P06 210
HiPace&&1800 U
DN 200 ISO-F
PM P06 211
HiPace&&1800 U
DN 200 ISO-K
PM P06 213
HiPace&&1800 U
DN 200 ISO-F
PM P06 214
与带涂层转子和抗侵蚀性气体材料共用时，尤其适合侵蚀性气体
适用于侵蚀性气体环境应用
连接法兰（入口）
电子驱动单元
内置式电源
HiPace& 1800 C
DN 200 ISO-K
带有 TC 1200
RS-485, 远程
PM P04 076
HiPace& 1800 C
DN 200 ISO-F
带有 TC 1200
RS-485, 远程
PM P04 077
HiPace& 1800 U C
DN 200 ISO-K
带有 TC 1200
RS-485, 远程
PM P04 078
HiPace& 1800 U C
DN 200 ISO-F
带有 TC 1200
RS-485, 远程
PM P04 079
HiPace& 1800 C
DN 200 ISO-K
带有 TC 1200
RS-485, 远程
PM P04 136
HiPace& 1800 C
DN 200 ISO-F
带有 TC 1200
RS-485, 远程
PM P04 137
HiPace& 1800 U C
DN 200 ISO-K
带有 TC 1200
RS-485, 远程
PM P04 138
HiPace& 1800 U C
DN 200 ISO-F
带有 TC 1200
RS-485, 远程
PM P04 139
HiPace& 1800，具有 TC 1200，DN 200 ISO-K
性能强大的涡轮泵，具备用于 N2直至的 1450 l/s 的吸气能力
法兰 DN 200 ISO-K
带电源件的集成驱动电子装置 TC 1200
带有电动气体密封阀 24 V DC的集成型气体密封系统
冷却类型：水冷装置
保护类型：IP54
接口 RS-485，远程（Profibus/DeviceNet 请咨询）
广泛的配件扩展使用范围
订单号: PM P04 070&
Ar 的压缩比
& 1 · 108
Ar 的最终转速时的气体流量
16 hPa l/s&|&12 Torr l/s&|&16 mbar l/s
H2&的压缩比
H2&的最终转速时的气体流量
& 30 hPa l/s&|&& 22.5 Torr l/s&|&& 30 mbar l/s
He 的压缩比
He 的最终转速时的气体流量
20 hPa l/s&|&15 Torr l/s&|&20 mbar l/s
N2&的压缩比
& 1 · 108
N2&的最大预真空
N2&的最终转速时的气体流量
20 hPa l/s&|&15 Torr l/s&|&20 mbar l/s
允许冷却水的温度
15&–&35&摄氏度
内置式电源
冷却水耗量
冷却类型，标准
标准 (0°-90°)
100-120/200-240 V AC, 50/60 Hz 0
RS-485, 远程
最大允许磁场
根据 PNEUROP 的最终压力
& 1 · 10-7&百帕
电子驱动单元
带有 TC 1200
转速 ?± 2 %
31,500 rpm&|&31,500 min-1
连接法兰（入口）
DN 200 ISO-K
连接法兰（出口）
DN&40&ISO-KF
HiPace& 2300
具有最高 2050 l/s 抽吸能力的高性能涡轮泵
适用于轻气体和重气体的高抽吸能力
高工艺适用性，防止进入颗粒
对于重气体同样拥有高气体通过量
准 S2 和 UL/CSA 认证
运行数据监控形成的最高运行安全性
高工艺适用性，防止进入颗粒
连接法兰（入口）
电子驱动单元
内置式电源
HiPace&&2300
DN&250&ISO-K
PM P05 200
HiPace&&2300
DN&250&CF-F
PM P05 202
HiPace&&2300
DN&250&ISO-F
PM P05 203
HiPace&&2300
DN&250&ISO-K
PM P06 300
HiPace&&2300
DN&250&ISO-F
PM P06 301
HiPace&&2300
DN&250&CF-F
PM P06 302
HiPace&&2300
DN&250&ISO-K
PM P06 303
HiPace&&2300
DN&250&ISO-F
PM P06 304
HiPace&&2300
DN&250&CF-F
PM P06 305
HiPace&&2300 U
DN&250&ISO-K
PM P06 310
HiPace&&2300 U
DN&250&ISO-F
PM P06 311
HiPace&&2300 U
DN&250&CF-F
PM P06 312
HiPace&&2300 U
DN&250&ISO-K
PM P06 313
HiPace&&2300 U
DN&250&ISO-F
PM P06 314
HiPace&&2300 U
DN&250&CF-F
PM P06 315
与带涂层转子和抗侵蚀性气体材料共用时，尤其适合侵蚀性气体
适用于侵蚀性气体环境应用
连接法兰（入口）
电子驱动单元
内置式电源
HiPace& 2300 C
DN&250&ISO-K
带有 TC 1200
RS-485, 远程
PM P03 926
HiPace& 2300 C
DN&250&ISO-F
带有 TC 1200
RS-485, 远程
PM P03 927
HiPace& 2300 U C
DN&250&ISO-K
带有 TC 1200
RS-485, 远程
PM P03 928
HiPace& 2300 U C
DN&250&ISO-F
带有 TC 1200
RS-485, 远程
PM P03 929
HiPace& 2300 C
DN&250&ISO-K
带有 TC 1200
RS-485, 远程
PM P04 146
HiPace& 2300 C
DN&250&ISO-F
带有 TC 1200
RS-485, 远程
PM P04 147
HiPace& 2300 U C
DN&250&ISO-K
带有 TC 1200
RS-485, 远程
PM P04 148
HiPace& 2300 U C
DN&250&ISO-F
带有 TC 1200
RS-485, 远程
PM P04 149
HiPace& 2300 C
DN&250&CF-F
带有 TC 1200
RS-485, 远程
PM P04 194
HiPace& 2300 U C
DN&250&CF-F
带有 TC 1200
RS-485, 远程
PM P04 195
HiPace& 2300 C
DN&250&CF-F
带有 TC 1200
RS-485, 远程
PM P04 200
HiPace& 2300 U C
DN&250&CF-F
带有 TC 1200
RS-485, 远程
PM P04 201
HiPace&&2300 适用于 TCP 1200，DN&250 ISO-K
结构稳健，性能强大，抽速可达1900 l/sN\2\的涡轮分子泵
外接TCP 1200电子驱动单元
电离辐射领域理想的选择
广泛的配件扩展使用范围
不适用于倒置安装
冷却类型：水冷装置
订单号: PM P05 200&
Installation orientation: Upside-down （90° - 180°）
Ar 的 0.1 hPa HV 压力时的气体流量
35 hPa l/s&|&26.25 Torr l/s&|&35 mbar l/s
Ar 的压缩比
& 1 · 108
Ar 的气体流量
9 hPa l/s&|&6.75 Torr l/s&|&9 mbar l/s
H2&的 0.1 hPa HV 压力时的气体流量
15 hPa l/s&|&11.25 Torr l/s&|&15 mbar l/s
H2&的压缩比
H2&的气体流量
& 30 hPa l/s&|&& 22.5 Torr l/s&|&& 30 mbar l/s
He 的 0.1 hPa HV 压力时的气体流量
27 hPa l/s&|&20.25 Torr l/s&|&27 mbar l/s
He 的压缩比
He 的气体流量
14 hPa l/s&|&10.5 Torr l/s&|&14 mbar l/s
N2&的 0.1 hPa HV 压力时的气体流量
36 hPa l/s&|&27 Torr l/s&|&36 mbar l/s
N2&的压缩比
& 1 · 108
N2&的最大预真空
N2&的气体流量
13 hPa l/s&|&9.75 Torr l/s&|&13 mbar l/s
允许冷却水的温度
15&–&35&摄氏度
冷却水耗量
最大允许磁场
根据 PNEUROP 的最终压力
& 1 · 10-7&百帕
电子驱动单元
电源连接:电压(范围)
200–240 V AC
电源连接:频率(范围)
耗电量 max.
转速 ?± 2 %
31,500 rpm&|&31,500 min-1
连接法兰（入口）
DN&250&ISO-K
连接法兰（出口）
DN&40&ISO-KF
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