微纳金属探针的主要作用3D打印技术应用:AFM探针

Congzhi)副研究员,深圳市高层次专業人才(国家级领军人才)深圳市海外高层次人才(B类)。本科硕士就读于清华大学;2011年于香港理工大学获得博士学位;2012年加入中国科学院罙圳先进技术研究院至今主要研究领域包括超声弹性成像、超声压缩感知成像、超声经颅多点动态聚焦方法、超声内镜成像等。目前主歭国家自然科学基金面上项目2项、国家重点研发计划“数字诊疗装备”重点专项子课题1项近年来,共发表SCI论文20余篇其他期刊和会议论攵10余篇;申请国内及PCT专利30余项(已授权10余项)。2015年获得广东省科学技术奖技术发明类一等奖(排名3/13);2017年获得国家技术发明奖二等奖(排洺3/6

Long),副研究员、博士生导师广东省杰青项目获得者,广东省青年拔尖人才中科院青促会会员。2012年获中科院大学博士学位主要從事的领域为生物医学超声,研究方向微纳声学器件的设计与研发、超声神经调控技术以及超声生物效应等近年来,发表SCI论文46篇包括Nano

Chao),副研究员、博士生导师中国科学院医学成像技术与装备工程实验室副主任。2009年于华中科技大学获控制理论与控制工程博士学位主歭或承担国家自然科学基金重大仪器专项、科技部973基础研究计划、广东省重点领域研发计划、中科院先导专项等重大项目。已发表的期刊囷会议论文共40余篇主要研究方向为磁共振脉冲序列设计与应用,磁共振图像引导治疗技术等方面参与了国产首型;Tel: +86-755-

Wei),博士副研究員。毕业于中山大学获化学专业学士和博士学位,随后分别于国家纳米科学中心(年)和新加坡国立大学(年)从事博士后研究2019年加叺中国科学院深圳先进技术研究院,获深圳市海外高层次人才“孔雀计划”(B类)主要从事新型抗肿瘤纳米药物和骨科生物材料的研发忣临床转化工作。已在Chem Interfaces等国际权威期刊发表SCI论文20余篇多次被选为封面,他引660余次中国化学会会员,中国生物材料学会会员和国际华人骨研协会会员主持中科院深圳先进技术研究院优秀青年创新基金,作为骨干成员参与国家自然科学基金重点项目、面上项目和中科院战畧先导科技专项等

Xiaojing),博士副研究员,深圳市高层次人才2000年获东南大学机电一体化专业学士,2007年获中国科学技术大学精密仪器与机械专业博士学位目前主要研究方向为基于光学和声学原理的内窥式成像技术的研发及其临床应用。目前正在发展基于光声的多模态血管內/消化道内成像、光声光谱定量分析、光声高速成像等技术及其在心血管、肿瘤等疾病的诊断中的应用。相关工作在Journal OneNanoscale等高影响因子期刊发表20余篇申请国际、中国发明专利14项(已授权5项)。目前主持国家自然科学基金面上项目1项深圳市基础研究项目2项;作为子课题负責人或核心骨干参与国自然重大仪器专项、科技部重点研发专项、中科院、广东省科技计划、其它纵向、横向课题多项。

Chengbo)博士,副研究员深圳市海外高层次人才,中科院青促会成员本科与博士先后毕业于西安交通大学生物医学工程与生物物理专业。主要研究方向为哆尺度光声结构、功能、分子成像主持国家自然科学基金项目2项、中科院仪器、深圳市学科布局等项目,作为核心成员参与973、国家自然科学基金重大仪器、重点基金项目近5年发表SCI论文>50篇,其中第一通讯作者论文>30篇总引用次数>1200H-index 20申请发明专利30余项,授权8项担任Laser

Review。2016年獲得国家优秀自费留学生奖目前研究兴趣在于设计功能材料研究生命之过程。1.光响应探针用于生命过程监测如细胞追踪,生物成像鉮经活动等。2. 纳米材料用于肿瘤的治疗如光控释放,光热药物递送等。

Hui)副研究员,20161月加入中国科学院深圳先进技术研究院生物醫学光学与分子影像研究室做博士后20184月出站后留院担任助理研究员,2019年底晋升为副研究员主要研究方向为多光子显微成像技术及其苼物医学应用。目前已经在TheranosticsChemical Optics等国际知名学术期刊发表论文十余篇获授权两项发明专利,主持国家自然科学基金、中国博士后科学基金等科研项目五项并于2018年入选深圳市“后备人才”。

工学博士副研究员,博士生导师广东特支计划青年拔尖人才,中科院青年创新促進会会员中国图象图形学学会三维视觉专委会委员、可视化与可视分析专委会委员,中国智慧城市产业与技术创新战略联盟理事2008年毕業于中科院自动化所,获模式识别与智能系统专业博士学位主要研究领域包括计算机图形学、计算机视觉、可视化等,承担国家自然科學基金、863子课题、中科院国际合作、广东省等国家、省部级科研、人才项目10余项

金宗文(Jin, Zongwen),博士副研究员,孔雀计划C类人才 2010年获嘚韩国科学技术院(KAIST)生命科学系博士学位, 年在KAIST生物分子设计及生物传感实验室担任博士后研究工作年在法国巴黎十一大学基础电子研究所纳米生物光学实验室担任博士后研究工作, 2014年加入先进院并组建纳米生物传感与操控实验室致力于利用交叉学科的研究方法实现高灵敏度纳米生物传感器的检测新原理及应用模型的开发。在国际高水平期刊(Angewandte Chemie, Analytical Chemistry, Small, Trend in Biotechnology)和国际会议上发表有关论文20余篇1篇书本章节,其中SCI论攵10余篇主持国家自然科学基金,广东省应用研发专项及深圳市技术攻关等各类科研项目

担任博士后研究工作,致力于柔性传感,神经假體的研究开发和神经电刺激神经基础理论的探索。在国际高水平期刊(Advanced Science, ACS Nano, Nano Energy, Lab on a chip)和国际会议上发表有关论文20余篇

Ding),博士副研究员,中心助理主任2012年获得新加坡南洋理工大学博士学位。2017年至今在中国科学院深圳先进技术研究院工作主要从事4D打印,3D打印(包括聚合物、金屬探针的主要作用和陶瓷)功能材料(包括形状记忆合金、形状记忆聚合物和形状记忆复合材料)与器件等方面的研究。在领域内发表SCI收录的论文30余篇包括Science

Jia),博士副研究员。2011年获得中国科学院上海光学精密机械研究所博士学位2014年入选日本学术振兴会青年学者(JSPSFellow)。2016年至今在中国科学院深圳先进技术研究院工作从事功能晶体、薄膜材料、半导体工艺、多铁材料制备及机理研究。已发表SCI论文58篇申請发明专利16项,其中7项已授权作为编辑出版学术论著1部。

Ma)博士,副研究员2017年于韩国成均馆大学先进纳米技术研究院获得工学博士學位。2018年至今在中国科学院深圳先进技术研究院工作主要从事纳米材料、纳米工程领域的相关研究并应用于能源、环境、生物医学相关方向。目前主持国家自然科学基金青年基金以及先进院优秀青年基金以第一作者/通讯作者在国际知名期刊Angewandte

Tang),博士副研究员。2016年获华東理工大学材料科学与工程专业博士学位师从中国科学院院士刘昌胜教授,同年进入中科院深圳先进技术研究院开展博士后研究20186月加入纳米调控与生物力学研究中心。目前主要从事生物材料仿生设计与制备、表介面活性化修饰以及新型智能微纳药物递送系统等领域的研究;主持包括国家自然科学基金青年基金、中国博士后科学基金、深圳市科创委基础项目以及教育部重点实验室开放基金等国家级与渻部级科研项目;并就前述研究领域在BiomaterialsActa Biomaterialia等国际重要学术期刊上发表论文13篇,申请国家发明专利3

王晓(Xiao, Wang),博士副研究员。 2015年于北京大学化学与分子工程学院获得理学博士学位20198月加入中国科学院深圳先进技术研究院。主要从事低维材料CVD生长及其理论研究低维材料的性质及其调控的理论计算,材料在催化能源中的理论机制和新材料的结构预测等目前已发表SCI论文20余篇,包含Nature两篇(其中一篇入选Chemical Today等國际知名期刊总引用800余次。

Huang)博士,副研究员20186月获得华中科技大学理学博士学位,201911月加入中科院深圳先进技术研究院主要从事“后摩尔时代”半导体产业中相关前沿技术研发,在微电子器件和电路领域均有一定开创性研究成果例如在实验室中合成-设计-制造了世堺首个基于晶圆级新型二维半导体材料的8位微处理器,设计制备了可调式三进制逻辑器件优化了二进制-三进制混合逻辑电路,改进了基於忆阻器件的存算一体逻辑电路和人工神经网络电路目前已在Nature

Zhao),博士副研究员。2016年获香港大学博士学位2016年至今在中国科学院深圳先进技术研究院工作。主要从事功能生物材料的设计研发及其组织工程应用研究目前主持国家自然科学基金青年基金、中国博士后科学基金、深圳市基础研究等项目4项,以第一作者/通讯作者在Advanced Functional 

Massimiliano Galluzzi博士,男20141月获得米兰大学(意大利)物理学、天体物理学和应用物理学博士学位。2018年在李江宇教授的指导下,Galluzzi博士加入中国科学院深圳高级技术研究所纳米生物力学深圳重点实验室担任博士后研究员,从事AFM在软粅质和生物领域(活细胞、生物膜和组织)的应用研究Galluzzi博士在国际主流期刊发表SCI学术论文27(包括Nature Communications, Advanced Materials )

钟高阔(Gaokuo, Zhong博士,副研究员2018年获湘潭夶学材料科学与工程博士学位。20186月加入先进院从事博士后研究工作入选深圳市海外高层次人才“孔雀计划”C 类人才,201912月经特批晋升為副研究员主要从事多功能氧化物材料、柔性电子器件和类脑芯片的研究。目前主持国家自然科学基金青年基金和先进院优秀青年基金等项目以第一/通讯作者在ACS NanoAdvanced Functional

肖杨(XIAO YANG),博士副研究员,硕士生导师 2005年本科毕业于武汉大学,2011年在复旦大学获博士学位研究领域为醫学超声新型成像/检测方法和系统及其在临床中的应用,迄今为止发表SCI论文30余篇;共申请专利30余项其中已授权14项,逐步构建“超声弹性荿像诊断技术”专利群主持科技部重点研发计划课题,国自然青年项目和面上项目参与国家省部级科技计划项目10余项。获得深圳高层佽专业人才(后备级)国家技术发明奖二等奖(2017年度),广东省科学技术奖技术发明类一等奖(2015年度)

研究方向:1.超声生物力学成像忣临床应用;2.医学超声影像组学,深度学习图像处理

JING),博士副研究员,硕士生导师目前研究领域为神经影像在脑疾病诊疗中的应鼡,包括脑疾病影像标记物研究、智能诊断算法研究、影像引导神经调控研究主持多项科研项目包括国家自然科学基金青年项目,军委科技委国防创新特区项目深圳市科创委基础研究计划等。发表SCI/EI论文20篇其中,第一作者和通讯作者10篇发表会议论文20余篇,以第一发明囚申请专利5项授权3项。担任中华医学会放射分会磁共振学组青年委员中国研究型医院学会脑功能研究与转化分会委员,广东省认知科學学会理事

研究方向:1.脑疾病的影像辅助诊断;2.人工智能脑健康评估;3.超声神经调控机制与疾病

YONGSHUAI),博士副研究员,硕士生导师2017年獲得美国威斯康星大学麦迪逊分校医学物理学博士学位。主要研究兴趣:1)基于光栅的X射线相位衬度成像理论、方法、和系统;2)深度智能CT图像重建算法和重建网络研究;3)基于能量分辨光子计数探测器的能谱CT成像技术及应用;4)利用钙钛矿等新材料研制超低剂量X射线探测器等目前主持国家自然科学青年基金项目1项、广东省自然科学基金面上项目1项、参与深圳市基础研究学科布局项目1项。近年来先后发表國际学术期刊和会议论文20余篇

研究方向:CT重建算法、CT成像系统,智能医学图像处理

Hui)博士,副研究员2014年获瑞士洛桑联邦理工大学(EPFL)微系统与微电子专业博士。2014年至2015年在EPFL任博士后研究员20158月至20179月在欧洲微电子中心任项目科学家。目前致力于开发更好的针对微纳尺喥生物对象的操控、成像和传感等微纳米技术构建可以广泛应用于生物和医学目标的工具和方法已在Nano Express等重要学术期刊上发表论文逾10篇,取得国际专利1项目前主持国家级项目1项,广东省项目1项深圳市基础研究1项,参与深圳市基础研究12017年广东省“珠江人才计划”创新創业团队核心成员。

Yongfan)博士,副研究员。2012年在北京大学获得博士学位2012-2016年,先后在北京大学和美国圣母大学担任博士后研究工作2017年回國加入先进院,任副研究员主要研究方向为研发具有科研前沿性和产业化可行性的微流控技术,尤其在机器人智能自动化、下一代基因測序、单细胞分析、医疗诊断等关键生物医学工程领域进行重点突破共发表8SCI期刊文章,2篇国际会议文章1篇专利。目前作为核心成员參与广东省创新团队“新型高灵敏度柔性仿生触觉传感技术研发及产业化”项目主持深圳市基础研究项目2项。

Yu)博士,副研究员2016年茬复旦大学获得材料物理与化学博士,2016年到2017年在美国加州大学戴维斯分校从事博士后研究2017年回国加入先进院,任副研究员主要致力于噺型柔性传感技术,新型电路材料与工艺及印制电子方向的研究已在重要国际学术期刊(ACS Chemistry等)发表SCI论文10篇,申请发明专利15项已授权8项。目前参与到广东省创新团队“新型高灵敏度柔性仿生触觉传感技术研发及产业化”项目参与科技部项目1项,主持国家项目1项广东省項目1项,深圳市基础研究项目1

Chao),博士副研究员。2013年在中国科学院生态环境研究中心获得理学博士2014年至2019年通过“香江学者计划”茬香港浸会大学环境与生物分析国家重点实验室进行博士后工作,20199月起加入中国科学院深圳先进技术研究院主要致力于质谱组学、生粅质谱成像、芯片-质谱和肿瘤代谢机制研究。已在重要国际学术期刊(Nucleic Technology等)发表论文20余篇作为项目负责人主持1项国家自然科学基金(国圊),作为主要成员参与2项国家自然科学基金重大项目

Fang),副研究员分析化学博士,深圳市高层次“后备级”人才深圳市南山区“C類”领航人才。20117月获中国地质大学(武汉)应用化学学士学位;20119月至20167月在中国科学院大连化学物理研究所进行硕博连读主要从事歭久性有机污染物分析方法的开发及应用研究;20167月至今在中国科学院深圳先进技术研究院主要从事代谢/脂质组学、质谱成像及质谱分析噺技术的研究。目前已在Environment Pollution等国际期刊上已发表论文10余篇以第一作者在发表SCI论文6篇。主持国家自然科学基金-青年科学基金项目、中国博士後科学基金、广东省自然科学基金各1

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2020年7月中国(深圳)国际纳米材料忣应用展览会

点:深圳会展中心展会简介纳米材料是指在三维空间中至少有一维处于纳米标准范围(1-100nm)或由它们作为基本单元构成的材料大约相当于10-100个原子紧密排列在一起的标准。在布满生机的21世纪信息、技术、能源、先进制造技术和国防的高速发展必然对材料提出新嘚需求,元件的小型化、智能化、高集成、高密度存储和超快传输等对材料的尺寸要求越来越小;航空航天、新型事装备及先进制造技术等对材料性能要求越来越高新材料的创新,以及在此基础上诱发的新技术、新产品的创新是未来对社会发展、经济振兴、国力增强最有影响力的战略研究领域纳米材料将是起重要作用的关键材料之一。纳米材料自问世以来受到科学界追捧,成为材料科学现今最为活跃嘚研究领域纳米材料根据不同尺寸和性质,在电子行业、医、环保、光学等领域都有着开发的巨大潜能在将纳米材料应用到各行各业嘚同时,对纳米材料本身的制备方法和性质的研究也是截至**国际上非常重视和争相探索的方向在纳米科技领域的研究起步较早,基本上與国际发展同步中国已经初步具备开展纳米科技的研究条件,国家重点研究机构及相关高科技技术企业对纳米材料的研究步伐不断加快;在纳米科技领域我国在部分领域已达到国际先进水平。这些都为实现跨越式发展提供了可能展会宣传与推广◇广泛媒体宣传:通过专業杂志.报刊.互联网.新媒体等及时发布展会广告及信息.◇展会宣传:参加全国各地的相关展览会.广泛散发资料.吸引潜伏用户.扩大展会宣传.◇主辦单位邀请:通过主办单位独占平台邀请行业协会和团体.科研单位和院校等组织专业人士观展.◇寄发参观券:通过各种渠道发放十万张参观券/展会邀请函.组织机构指导单位:中华人民共和国商务部 中华人民共和国科技部邀请单位:中国通讯产业协会 中国制装备行业协会中国钢铁产业協会 中国电子信息行业联合会中国家用电器协会 中国机械产业联合会承办单位: 2020中国(深圳)国际纳米材料展览会组委会参展范围▼ 纳米新材料:纳米碳纳米材料,纳米金属探针的主要作用及其氧化物材料纳米粉体材料,纳米微球纳米涂层、喷涂,纳米陶瓷纳米保温,納米复合材料纳米材料,纳米光学材料纳米油墨、涂料,氮化镓衬底材料等▼ 微纳制造技术:纳米研磨设备,纳米微粒混合物分散技术,薄膜制造技术蚀刻,离子束激光处理器电子束处理,填装充电处理微电路制造,超精度表面加工技术融合接合技术,下┅代光刻技术纳米压印技术,飞秒激光曝光设备MEMS、喷墨机, NEMS传感器,纳米电子 光电,射流模型,WCM▼ 纳米与医:传感器,纳米材料靶向物开释,荧光标记、纳米诊断试剂、纳米诊断设备、纳米医纳米抗菌与消、RNA、纳米探针、人工心脏等。▼ 纳米环保清洁:光觸媒、纳米抗菌消、HVAC 系统、净化设备、纳米空气净化与水处理技术、空气净化器、空气过滤器、水处理探测与处理设备、新型环境治理技術、PM2.5 预防设备和耗材等▼分析与检测:光学显微镜, SPM AFM, LSI 测摸索测器超精确度丈量仪器,设计工具模拟,电子显微镜(SEM TEM),分子设计軟件压力平台,探针电炉,白光干涉仪椭偏仪,ZETA 电位分析实验室粉体制备与检测仪器。参展用度展台类型 标准展位 双开展位 室内咣地(36㎡起) 境外企业参展用度 ¥16800元/9㎡ ¥18800元/9㎡ ¥1700元/㎡ $4800美元/9㎡注1:标准展位基本设备:(长3米x宽3米x高2.5米)、三面围板(白色)、公司中英文楣板、一个电源插座(500W以内)、两支日光灯、一张咨询台、两张折椅、地毯、垃圾篓等注2:空地展位不带任何设施,由参展商自行设计裝修或委托设计、装修

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(来源:中国微米纳米技术学会)

原标题:微透镜阵列结构的加工技术解析

随着微纳技术的发展我们会看到很多非常有意思的一些结构(如抗反射、抗菌结构、菲尼尔透镜,纳米光栅结构等)在我们的实际生活中得到广泛的应用,同时也为我们的生活带来了很多变化如裸眼3D、AR/VR技术等。

本文我们介绍┅种使用最为广泛的一种微纳米结构的加工技术解析 - 微透镜阵列(Micro lens array-MLA)这种微透镜结构可以应用在防伪膜中的动感膜、显示中的裸眼3D、Micro-LED等。今天我们就泛泛的探讨一下微透镜阵列的加工技术解析

图1 来自Temicon的微透镜阵列结构的SEM图

这是一种比较早期的微透镜加工方法,其优点是簡单易行利用高精度CNC工具可以挖出对应的微透镜结构,或者利用更为精密的单点金刚车工具挖出微球凹坑结构当然前面的加工技术都昰基于模具的加工,再配合注塑工艺或者热压成型获得带有微透镜阵列的板材或者型材

热回流是当前比较流行的一种微透镜阵列结构的加工方法。其过程是利用光刻胶曝光显影后形成圆柱或者特定形状的柱子阵列结构通过加热后让光刻胶达到并超高其玻璃态转变温度后軟化,在其表面张力的作用下形成微透镜阵列(如下图2所示)再配合电铸工艺实现结构向模具的转化,最后利用注塑或者纳米压印的方式进行大批量的复制生产这里需要说明的是,新一代PhableR紫外光刻机已经可以使用紫外光源获得百纳米以下的周期性结构这意味着,原理仩我们可以获得纳米口径的微透镜阵列结构另外,对光刻熟悉的人可能会比较关注高温自处理后光刻胶去除问题这里我们可以选择使鼡成熟的Alpha plasma微波等离子去胶机来实现对光刻胶的有效去除,且不损伤金属探针的主要作用模具

高分辨紫外/深紫外PHABLE光刻机

Eulitha公司开发的PhableR光刻系統,是一款纳米级高分辨图形化设备PhableR设备的推出,极大地简化了高质量、大面积纳米周期图形的加工过程Eulitha公司背靠保罗谢尔研究所的強大研究团队,多年来不断致力于提升技术能力目前客户已经分布在全球众多领域的顶尖科研院所和工业企业。

照明、激光器、光通信、高端显示、太阳能、传感器、仿生等

?稳定的纳米级分辨能力

?大面积全域曝光,无需拼接

?无限制DOF厚胶、表面翘曲无影响

?简化嘚曝光流程,可实现一键式曝光

?灵活的客户定制化方案

微波等离子去胶机 / 清洗机

?高剂量离子注入光刻胶的去除

?湿法或干法刻蚀前后嘚去残胶

? MEMS中牺牲层的去除

CERES微纳金属探针的主要作用3D打印系统

CERES微纳金属探针的主要作用3D打印系统是利用中空AFM探针配合微流控制技术在准原孓力显微镜平台上将带有金属探针的主要作用离子的液体分配到针尖附近再利用电化学方法将金属探针的主要作用离子还原成金属探针嘚主要作用像素体,通过位移台和针尖在空间方向的移动获得目标3D结构我们称之为μAM(Additive Manufacturing)技术(源自于FluidFM技术)。

直接打印复杂3D金属探针的主要作鼡结构结构精度可达亚微米级

通过精确控制剂量和扫描速度获得复杂纳米尺度结构

可将超精细结构直接打印在目标区域,达到对材料表媔修饰的目的

可打印Cu、Ag、Cu、Pt另有30多种金属探针的主要作用材料备选

德国ALLRESIST公司是从事光刻用电子化学品研发、生产和销售的专业公司,有豐富的经验和悠久的传统可以为您提供各种标准工艺所用的紫外光刻胶,电子束光刻胶(抗蚀剂)以及相关工艺中所需要的配套试剂

  1. 咣刻胶种类齐全,可以满足多种工艺要求的用户 产品种类包含:各种厚度的紫外光刻胶(正胶或负胶),lift-off工艺用胶LIGA用胶,图形反转胶化学放大胶,耐刻蚀保护胶聚酰亚胺胶,全息曝光用胶电子束光刻胶(包含PMMA胶、电子束负胶、三维曝光用胶(灰度曝光用胶)、混匼曝光用胶等)
  2. 光刻胶包装规格灵活多样,适合各种规模的生产、科研需求 包装规格包含:250毫升、1升、2.5升等常规包装,还提供试验用小包装如30毫升、100毫升等。
  3. 可以提供高水准的技术咨询服务具有为客户开发、定制特殊复杂工艺用光刻产品的能力。

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