说明书上没有,怎么从设备上看芯片参数?

光刻机,这是一个用于芯片制造环境的专业制造工具,对于我们普通人来说,或许一生也不会接触到这样的设备,甚至有很多人还对光刻机没有任何的认知,然而随着科技的快速发展,芯片正变得越来越重要,应用的场景和范围也越来越大,在如今的数字世界中,我们的生活已经很难离开芯片的支持。

随着芯片的广泛应用,相应的芯片制造设备也逐渐进入人们的视野,之所以光刻机能够从众多的芯片制造设备中脱颖而出,是因为在这些设备中,光刻机的复杂度是最高的,同时也是研发和制造难度最高的。

目前在光刻机领域,市场的龙头企业是来自荷兰的ASML,而ASML最高端的光刻机类型,就是采用极紫外光刻机技术的EUV型光刻机,该光刻机仅在相关的零配件上,就已经超过十万个。

还不仅如此,一台EUV型光刻机的零部件供应商,也是选自全球的供应商,数量当然也非常可观,事实上,ASML在EUV型光刻机上的知识产权,其实大部分都是来自供应商,只有少部分是属于ASML自己。

总之我们看到,光刻机不仅很重要,而且光刻机的研发难度很高,然而我们也知道,ASML是否供货中国光刻机,还受到美国禁令的制约,尽管近日ASML方面也表示,如果从荷兰向中国出口DUV型光刻机,可以不受到美国禁令的制约,但同时ASML也补充到,如果相关系统或零件是从美国出口的,那这些设备仍然需要得到美方的许可。

因此我们就看到,想要从ASML那里得到光刻机,还是很难。不过近日,我国企业通过一种其他的方式,一次性就得到了五台光刻机。

根据媒体的报道称,我国企业英唐智控,收购了日本先锋微技术公司的100%股权,除了可以得到先锋微电子的技术团队、知识产权和行业经验,该公司的五台光刻机也被我们收入囊中。

相信大家应该还记得,就在近日,我国企业已经采购了一台二手的光刻机,当时表示是为了光刻胶的研发,而这次英唐智控的整体收购,可以说也是一种更彻底的方式。

因为这不仅仅是得到五台光刻机这么简单,随着美国对中国半导体产业的封锁打压,通过整体收购的方式,在得到光刻机等相关制造设备的同时,还能得到更为重要的知识产权。

其实我们翻看美国的一些科技巨头,其发展的过程中,往往也是其收购知识产权的过程,并以此来壮大自己的主营业务,例如苹果如日中天的A系列芯片,也是通过收购SEMI而得到的知识产权,并在此基础上继续发展而来。

因此英唐智控这波操作可以说是一种国际惯例,目前半导体产业已经进入第三代半导体时代,通过这次收购,也无疑将会增加英唐智控在第三代半导体产业中的竞争力,成为一家真正的IDM企业,即同时具备设计、生产和销售能力的全能芯片企业。

前段时间我们也看到,三星李在镕到访了ASML总部,业界解读是为了争取得到光刻机的产能,因此我们也看到,光刻机不是有钱就能买到,即便像三星这样没有受到美国制裁的企业,想要得到ASML光刻机也有困难。

而像英唐智控这样,可以说实现了一举两得,不仅得到了技术,还得到了设备,或许在未来的一段时间内,这会成为一个主流,对此大家怎么看呢?

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随着制程越来越小,其工艺难度也呈指数型上升。以10nm工艺为例,全工艺步骤数超过1300道,7nm工艺则超过1500道,其中任何一道工艺出错都可能导致生产的集成电路不合格,拉低良品率。

因此,为了及时发现不稳定因素、提高生产良率,环节贯穿在集成电路的生产流程里,设备则是其中的关键。

本期的智能内参,我们推荐来自长江证券的设备报告,详解了过程、设备分类、以及国内外市场格局。

其他关于材料设备的系列报道,可参见智东西此前文章(这台设备比印钞更赚钱!公司来自荷兰,被曝中国员工窃密)(深度解读刻蚀:国产5nm机器已就绪,2018全球销售额破历史新高)(揭秘制造关键一环,百亿美元市场的光刻胶产业)

以下为智能内参整理呈现的干货:

一、设备贯穿生产流程:探针台、分选机、机

正如开篇提及,集成电路工艺繁多复杂,其中任何一道工艺出错都可能导致生产的集成电路不合格,拉低良品率。因此,环节对于集成电路生产而言至关重要。

集成电路设备不仅可用于判断被测或器件的合格性,同时还可提供关于设计、制造过程的薄弱环节信息,有助于提高制造水平,从源头提高的性能和可靠性。


集成电路的环节,主要包括设计中的设计验证、晶圆制造中的晶圆(CP)和封装完成后的成品(FT)。

集成电路设备主要包括机、探针台和分选机。在所有的环节中都会用到机,不同环节中机需要和分选机或探针台配合使用。

1、设计验证阶段:验证设计有效性,对设备需求少

设计公司通常会使用设备对晶圆或样品进行,以验证样品功能和性能的有效性,并指导设计。设计验证阶段对设备需求较少。

2、晶圆阶段:机+探针台,晶圆,节省封装成本

晶圆又称为CP,是指在晶圆制造完成后和进行封装前,通过探针台和机配合使用,对晶圆上的每一个晶粒进行功能和电参数性能的过程,是晶圆制造的最后一道工序。晶圆一般在晶圆厂、封测厂或专门的代工厂进行,主要用到的设备为机和探针台,此外还有定制化的电路板和探针卡,探针卡上装有探针。


晶圆过程:首先将探针卡固定到电路板上,然后把电路板安装到机的机头上,再将机头倒置于探针台上。探针台上部有孔供探针卡插入。一旦安装完毕,机、电路板、探针卡和探针台都固定不动,探针台内部的机械手臂控制晶圆移动,并将每一颗晶粒上的接触孔对准探针,然后向上顶使探针准确插入晶粒的接触孔,最后完成。

接触孔的直径通常都是1-2um级别,因此,晶圆对探针台的精度要求非常高,如果稍有偏差,探针将有较大可能扎坏晶圆,因此,探针台的技术难度较大。


晶圆的目的是把好的和坏的晶粒分别挑出来,并进行标记形成晶圆的Map图,此后只对性能良好的晶粒进行封装,以节省后续的封装成本。

3、成品阶段:机+分选机,,提高良率

封装又称为FT或终测,一般在封测厂完成,是指完成封装后,通过分选机和机配合,对每一颗进行电参数性能,保证出厂的每颗集成电路的功能和性能指标能够达到设计规范要求,目的在于提高出厂良率。封装主要用到机和分选机,此外还有定制化的电路板和底座。


成品的过程:分选机将待测逐个自动传送并放入底座。底座和电路板把的引脚与机的板卡连接,机对集成电路施加输入信号、采集输出信号,判断集成电路在不同工作条件下功能和性能的有效性。

最后,结果通过通信接口传送给分选机,分选机据此对被的集成电路进行标记、分选、收料或编带。


成品的目的是把好的和坏的分别挑出来,只有好的才会被销售给终端客户,以保证出货时的良率。

二、机定制化,探针台、分选机通用

机、探针台、分选机所应用的环节并不相同,其技术难度也各有差异。机属于定制化设备,探针台、分选机则更加通用。

1、机由机身和内部的板卡构成,均由机厂设计和制造。

机机身是一种标准化的设备,内部可以插入不同的板卡。机厂会设计出一系列的板卡,每一种板卡可以满足对某些功能的,厂在做的时候,需要根据的功能特性选择不同的板卡进行搭配。

此外,每一种都需要编写一套特有的程序。因此,机的定制性主要体现在板卡的定制和程序的定制。

当一款更新换代时,机的机身不需要更换,内部的板卡则会根据接下来要的做调整,程序则一定需要更新。

2、探针台和分选机则是相对通用设备,适用范围较广。

探针台主要根据晶圆尺寸选型,分选机主要根据封装方式和并行度要求选型。不同的晶圆和,通常不需要对探针台和分选机做太大改动。

行业尤其是机行业,更多的工作是软件的编写,包括底层的对设备的控制程序,和上层的对的程序。

底层的控制程序类似于操作系统,不同品牌的机的控制系统不同,而上层的程序类似于应用软件,在该种机的控制系统的基础上编写,每一款都有自己定制化的程序。


机、探针台和分选机三类设备的技术难度对比来看,机和探针台技术难度相较分选机而言更高。

机、探针台和分选机三者为独立销售的设备,机、探针台和分选机生产厂商在研发时均已考虑了不同厂商产品之间搭配使用的可行性,在产品和连接线设置上均有行业通用接口,可实现不同厂商不同类型设备的搭配组合,无须从同一厂商配套采购。

但在实际采购设备时,设备的定制化属性决定了该行业特殊的业务模式,即通用设备通常由晶圆厂和封测厂自行决定采购,而定制化设备则由设计公司主导设备品牌的选择:


1)探针台和分选机属于通用设备,通常由晶圆厂或封测厂自主采购;

2)机、探针卡、电路板和底座均属于定制化设备,由设计公司根据自己的特点指定供应商,再由晶圆厂和封测厂进行采购。封测厂和晶圆厂自主决定购买的定制设备相对较少。

三、设备难度较低,有望率先突破国际壁垒

集成电路设备主要包括硅片制造设备、晶圆加工处理设备、封装设备和设备等,由于集成电路制造工序复杂、流程较长,不同环节所需设备各不相同,且技术难度及价值量也存在明显差异。


总体而言,光刻机、刻蚀机等晶圆加工处理设备技术壁垒更高、难度更大,由全球少数几家巨头垄断。

而设备的技术门槛相对稍低,国产设备有望在各种设备中率先突围。

从设备分产品市场规模占比情况来看,设备所占市场份额与技术难度基本成正比,技术难度更高的产品享有更高市场溢价。

晶圆处理设备占比最大,原因在于在集成电路制造、封装、等环节中,晶圆制造工艺最为复杂、工序最多、技术壁垒最高,设备成本也更高。


2018年晶圆处理设备、封装设备、设备和其他设备的市场规模分别约为502、54、40和25亿美元,市场规模占比分别约为80.8%、8.7%、6.4%和4.0%。

目前,全球集成电路先进设备制造技术基本掌握在美国、日本等集成电路产业发达国家的厂商手中。


在机市场,美国泰瑞达(Teradyne)和日本爱德万(Advantest)为双巨头,合计占据了机市场80%以上份额,且近年份额呈现不断提升趋势。

探针台技术壁垒较高,市场也处于双强垄断态势,东京电子和东京精密两家日本公司占据了绝大部分市场份额。

分选机技术难度相对较低,目前没有在技术上绝对领先或在市场份额上处于绝对垄断地位的龙头,竞争格局相对较为分散,主要的参与者包括美国Cohu、日本EPSON、日本爱德万、新加坡STI、中国台湾的鸿劲和中国大陆的长川科技等。

回望国内,目前国内的设备企业长川科技、北京华峰、佛山联动、北京冠中等已经取得一定突破,进入了长电科技、华天科技、通富微电、日月光等海内外知名封测厂。

国内厂商在分立器件机、模拟机和分选机等中低端领域实现或部分实现了国产替代,并在数字机、探针台等难度较大的设备领域已有布局,但探针台和高端机依旧由海外龙头垄断。

在近来中美贸易摩擦背景下,设备的国产替代进程或将加速,遵循先易后难的逻辑,国产设备有望在各种设备中率先崛起。

四、设备需求攀升,大陆封测产业发达

设备通常寿命较长,更新需求较少,最主要的需求是新增需求。影响设备新增需求的四大因素包括下游需求、复杂度、产业转移和的并行度。其中最核心的影响因素是下游需求和复杂度。

近年来,的复杂度不断攀升,设备的需求受复杂度提升和下游景气度波动双重影响。

2015年至2018年,随着产业景气度上升,全球设备销售额迅速增长,至2018年达到约54亿美元。


年下半年来,全球产业景气度有所下滑,预计2019年设备市场需求同比2018年略有下滑,全球市场空间预计超过50亿美元。


随着供应链去库存、需求拉动等因素,预计2020产业景气度将恢复,设备市场空间有望超过60亿美元。

回望中国。近年来,中国大陆设备市场需求增长迅速,据SEMI预测,2019年中国大陆设备市场在全球占比或达约20%。

分产品来看,2019年中国大陆数字机市场空间约30~35亿人民币,存储器机市场空间约8~9亿人民币,模拟机市场空间约5~6亿人民币,分选机和探针台市场空间则各约9至10亿人民币。

五、行业竞争激烈,国产替代加速

设备市场近年来竞争日趋激烈,行业整合加速。

2011年爱德万收购惠瑞捷,高端机市场形成了泰瑞达和爱德万双寡头垄断局面。而泰瑞达和爱德万之外的机公司,则在中低端市场竞争激烈,相互之间不断整合。LXT、Credence、ECT和Multitest经过一系列合并、并购整合,成为全球第三大机公司Xcerra,但收入体量仍与泰瑞达和爱德万差距较大,2018年Cohu收购了Xcerra。

而从2018年以来,国产设备向中国大陆外市场拓展和在中国大陆市场的国产替代进程均明显提速。


国产替代进程提速是因为中国本土设计公司近年来蓬勃发展,对的需求增长迅速,但受中美贸易摩擦影响,供应链的安全日益受到重视,国产设备将得到更多的试用机会,在中低端模拟机和分选机领域,国产替代明显提速。

国产设备加速海外拓展,短期因素,是近期中国大陆封测厂设备采购支出低迷;长期因素,是国产设备在模拟、等细分领域技术实力增强,逐步参与全球竞争。

自2018H2以来,国内封测产业投资低迷,设备采购支出萎缩,促使国产设备公司加速向海外扩张。

北京华峰的模拟机早年已在中国台湾和东南亚展开销售,并在美国、日本、意大利设立办事处,目前海外收入占比已超过30%。

长川科技在中国香港和日本设立子公司,并在中国台湾设立办事处,加快公司国际化步伐,推广其模拟机和分选机产品,收购新加坡分选机制造公司STI已获证监会通过,进一步进军东南亚市场。

佛山联动在管理和大功率分立器件方面技术不错,机已经进入东南亚封测厂。


长期来看,封测产业持续向中国大陆转移,特别是东南亚的封测代工厂,近几年随着中国封测产业高速增长,东南亚部分封测厂运营困难,因此逐渐被收购。中国封测厂去东南亚收购封测产能也成为了趋势。

智东西认为,设备贯穿制造的整个流程,对于确保的性能和可靠性至关重要。在制造工艺日益复杂的当下, 完备的设备流程能够及时发现不稳定因素、提高生产良率。

与晶圆加工制造相比,我国大陆的封测产业较为成熟,长电科技、天水华天、通富微电等都在近年来取得了不俗的市场成绩,这也导致了国内市场对于封测设备需求增加。在中美贸易摩擦背景下,国产设备有望在各种设备中率先崛起,进一步加快国产化突围的步伐。

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