实验条件：样品用VGScientificESCA；为AlKαX射线，功率约300W；X-rayphotoelectronspectr；处理软件：Avantage4.15；XPS数据考盘后的处理数据步骤；Origin作图：；1.openExcel文件，可以看到多组数据和谱；2.将某一元素的两列数据直接拷贝到Origin中；3.如果某种元素有两种以上化学态，需要
实验条件：样品用VG Scientific ESCALab220i-XL型光电子能谱仪分析。激发源
为Al Kα X射线，功率约300 W。分析时的基础真空为3×10-9 mbar。电子结合能用污染碳的C1s峰（284.8 eV）校正。
X-ray photoelectron spectroscopy data were obtained with an ESCALab220i-XL electron spectrometer from VG Scientific using 300W AlKα radiation. The base pressure was about 3×10-9 mbar. The binding energies were referenced to the C1s line at 284.8 eV from adventitious carbon.
处理软件：Avantage 4.15
XPS数据考盘后的处理数据步骤
Origin作图：
1. open Excel文件，可以看到多组数据和谱图，一个sheet 对应一张谱图及相应的数据（两列）。
2. 将某一元素的两列数据直接拷贝到Origin中即可作出谱图。（注意：X轴为结合能值，Y轴为每秒计数）
3. 如果某种元素有两种以上化学态，需要进行分峰处理时，按“XPS Peak分峰步骤”进行。
XPS Peak分峰步骤
1．将所拷贝数据转换成所需格式：把所需拟合元素的数据引入Origin后，将column A和C中的值复制到一空的记事本文档中（即成两列的格式，左边为结合能，右边为峰强），并存盘。如要对数据进行去脉冲处理或截取其中一部分数据，需在Origin中做好处理。
2．打开XPS Peak，引入数据：点Data----Import(ASCII)，引入所存数据，则出现相应的XPS谱图。
3．选择本底：点Background，在所出现的小框中的High BE和Low BE下方将出现本底的起始和终点位置（因软件问题，此位置最好不改，否则无法再回到Origin），本底将连接这两点，Type可据实际情况选择。确定好本底的位置后，回到TXT文本中将不在本底范围内的数据删除，然后保存。再重新Import ASCII。
4．选峰：点Add peak，出现小框，在Peak Type处选择s、p、d、f等峰类型（如C1s峰则选s，S2p峰则选p），在Position处选择希望的峰位，需固定时则点fix前小方框，同法还可选半峰宽（FWHM）、峰面积等。各项中的constraints可用来固定此峰与另一峰的关系，如Pt4f7/2和Pt4f5/2的峰位间距可固定为
3.45，峰面积比可固定为4:3等。点Delete peak可去掉此峰。然后再点Add peak选第二个峰，如此重复。
5．选好所需拟合的峰个数及大致参数后，点Optimise region进行拟合，观察拟合后总峰与原始峰的重合情况，如不好，可以多次点Optimise region。
6．拟合完成后，分别点另一个窗口中的Rigion Peaks下方的0、1、2等可看每个峰的参数，此时XPS峰中变红的为被选中的峰。如对拟合结果不满意，可改变这些峰的参数，然后再点Optimise region。
7．点Save XPS存图，下回要打开时点Open XPS就可以打开这副图继续进行处理。
8．点DataDDPrint with peak parameters可打印带各峰参数的谱图，通过峰面积可计算此元素在不同峰位的化学态的含量比。
9．点DataDDExport to clipboard，则将图和数据都复制到了剪贴板上，打开文档（如Word文档），点粘贴，就把图和数据粘贴过去了。
10． 点DataDDExport （spectrum），则将拟合好的数据存盘，然后在Origin中从多列数据栏打开，则可得多列数据，并在Origin中作出拟合后的图。
元素相对定量计算： Ii
相对原子百分比＝i
式中：Ii－i元素的峰强度(面积)
Si－i元素的相对元素灵敏度因子 i?100%
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XPS Peak软件拟合数据的简单步骤:
用excel调入外部数据打开数据文件。
Excel中的数据转换成TXT格式
从Excel中的数据只选择要进行拟合的数据点，copy至txt文本中，即BD两列数据，另存为*.txt文件。
<img src="/blog7style/images/common/sg_trans.gif" real_src ="http://static10..cn/middle/001mKQG7zy6OwuQ7wrn69&690" ALT=""
TITLE="XPS&Peak软件拟合数据的简单步骤:" />
Peak41中导入数据
打开xps peak 41分峰软件,在XPS Peak
Fit窗口中,从Data菜单中选择Import (ASCII),即可将转换好的txt文本导入,出现谱线
<img src="/blog7style/images/common/sg_trans.gif" real_src ="http://static8..cn/middle/001mKQG7zy6OwuPWRNl67&690" ALT=""
TITLE="XPS&Peak软件拟合数据的简单步骤:" />
在打开的Region 1窗口中，点击
Backgrond，选择Boundary的默认值，即不改变High BE和Low
BE的位置，Type一般选择Shirley类型扣背底
<img src="/blog7style/images/common/sg_trans.gif" real_src ="http://static14..cn/middle/001mKQG7zy6OwuQbOhL3d&690" ALT=""
TITLE="XPS&Peak软件拟合数据的简单步骤:" />
选择Add Peak，选择合适的Peak
Type(如s,p,d,f),在Position处选择希望的峰位，需固定时点fix前的小方框,同时还可选半峰宽（FWHM）、峰面积等。各项中的constaints可用来固定此峰与另一峰的关系。如W4f中同一价态的W4f7/2和W4f5/2的峰位间距可固定为2.15eV，峰面积比可固定为4:3等，对于%
Lorentzian-Gaussian选项中的fix先去掉对勾，点击Accept完成对该峰的设置。点Delete
Peak可去掉此峰。再选择Add Peak可以增加新的峰，如此重复。注意：%
Lorentzian-Gaussian值最后固定为20%左右。
<img src="/blog7style/images/common/sg_trans.gif" real_src ="http://static3..cn/middle/001mKQG7zy6OwuQdNJgd2&690" ALT=""
TITLE="XPS&Peak软件拟合数据的简单步骤:" />
<img src="/blog7style/images/common/sg_trans.gif" real_src ="/middle/001mKQG7zy6OwuQfudab0&690" ALT=""
TITLE="XPS&Peak软件拟合数据的简单步骤:" />
举例：对峰的限制constraints，峰1的峰位=峰0峰位+1.5
选好所需拟合峰的个数及大致参数后，点XPS Peak
Processing中的Optimise All进行拟合，观察拟合后总峰与原始峰的重合情况，如不好，可多次点Optimise
<img src="/blog7style/images/common/sg_trans.gif" real_src ="/middle/001mKQG7zy6OwuQ4yFbe1&690" ALT=""
TITLE="XPS&Peak软件拟合数据的简单步骤:" />
6.参数查看
拟合完成后，分别点XPS Peak Processing窗口总的Region
Peaks下方的0、1、2等，可查看每个峰的参数，此时XPS峰中变红的曲线为被选中的峰。如对拟合结果不满意，可改变这些峰的参数，然后再点击Optimise
点Save XPS可将谱图存为.xps格式的图，下回要打开时点Open
XPS可以打开这副图，并可对图进行编辑
8.XPS图的数据输出
a.点击Data中的Export（spetrum），可将拟合好的数据存为.dat格式的ASCII文件（该文件可用记事本打开），然后再Origin中导入该ASCII文件，可得到一个包含多列的数据表，这里需要注意的是每列的抬头名称出错（如.dat文件中的Raw
Intensity分开到两列中作为两列的抬头，即Raw、Intensity），这时需要根据做出的图与.xps原始谱图比较，更改每列的名称，即可得到正确的谱图
b.点击Data中的Export（Peak
Parameters），即将各峰参数导出为.par格式的文件（也可用记事本打开），通过峰面积可计算某元素在不同峰位的化学态的含量比
c.点击Data中的Export to
clipboard，即将图和数据都复制到剪贴板上，打开文档（如Word），点粘贴，即把图和数据粘贴过去，不过该图很不清晰
d.点击Data中的Print with peak
parameters，即可打印带各峰参数的谱图
峰拟合中的一些基本原则及参考资料:
元素结合能数据可参考
谱峰的曲线拟合应考虑：合理的化学与物理意义；合理的半高宽（一般不大于2.7eV，氧化物的半高宽应大于单质的半高宽）；合理的L/G比（XPS
Peak 41分峰软件中的%
Lorentzian-Gaussian）为20%左右；对双峰还应考虑两个峰的合理间距、强度比等（详见下面的3，4项）。
对于p、d、f等能级的次能级（如p3/2、p1/2，光电子能谱中一般省略/2，即为p3、p1）强度比是一定的，p3:p1=2:1；d5:d3=3:2，f7:f5=4:3。在峰拟合过程中要遵循该规则。如W4f中同一价态的W4f7和W4f5峰面积比应为4:3。
对于有能级分裂的能级（p、d、f），分裂的两个轨道间的距离(doublet
seperation)也基本上是固定的，如同一价态的W4f7和W4f5之间的距离为2.15eV左右，Si2p3和Si2p1差值为1.1eV左右。各元素能级分裂数据可参考网上数据库中
选择Doublet Seperation项
仪器名称：多功能X-射线光电子能谱仪（X-ray Photoelectron Spectroscopy/ESCA）
型号： Axis Ultra DLD
生产厂家：英国Kratos公司
分析室工作时的真空度：～5&10-9 torr
使用X光源: 单色化的Al K&源(Mono AlK& )能量:1486.6eV, 10mA&15KV,
束斑大小:700&300 &m；扫描模式：CAE；
全谱扫描：通能为；窄谱扫描：通能为。无特殊说明，扫描次数为次。
以表面污染（）为标准进行能量校正，在结果分析前，请先对每个样品的进行分峰处理，然后将最低能端的结合能校准到一般情况下，我们默认为污染结合能最低，如果样品中有有机物或者本身含的化合物，请先确定的最低结合能为多少，或谨慎选用的元素校准，根据峰位移动对每个元素进行校正。
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